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公开(公告)号：CN105203244A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510683154.X
申请日：2015-10-20
Applicant: 浙江大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明公开了一种具有不规则表面微突的电子皮肤，从下往上依次包括衬底、支撑层、压敏感应层、电极层及柔性保护层，柔性保护层边缘通过双面粘性层与衬底粘结，将支撑层、压敏感应层及电极层封装；所述的支撑层表面与压敏感应层表面均具有微突起；该电子皮肤是利用表面微观高度不均一的材料作为模板采用化学溶液法制得。本发明的电子皮肤具有双灵敏度特性，在低压力区域高达909kPa-1，在高压力区域达到46kPa-1，其总的压力敏感区间由可达到20kPa以上。本发明的电子皮肤及其制备方法新颖简单，效果显著，性能优异且成本低廉，具有用于机器人领域的巨大潜力和优势。
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公开(公告)号：CN109234678B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201810866019.2
申请日：2018-08-01
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种铜掺杂钛酸钡/镍锌铁氧体复相薄膜材料及制备方法。该薄膜铜掺杂镍锌铁氧体相和钛酸钡相呈均匀致密分布，其中镍锌铁氧体相沿(111)晶面取向生长。该薄膜通过射频磁控溅射法并通过在溅射源靶材外侧外加带窗口的铜罩同步引入铜掺杂离子，以先获得非晶沉积薄膜，后经过在空气气氛下热处理的方法制得。相比于不掺杂的钛酸钡/镍锌铁氧体复相薄膜，这种制备方法可以获得在复相体系中铁磁相具有(111)取向生长特征的铁电、铁磁两相复合薄膜。这种铁磁相(111)取向生长的铁电、铁磁两相复合薄膜有利于实现高性能磁、电耦合，相对制备工艺较为简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN109234678A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810866019.2
申请日：2018-08-01
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种铜掺杂钛酸钡/镍锌铁氧体复相薄膜材料及制备方法。该薄膜铜掺杂镍锌铁氧体相和钛酸钡相呈均匀致密分布，其中镍锌铁氧体相沿(111)晶面取向生长。该薄膜通过射频磁控溅射法并通过在溅射源靶材外侧外加带窗口的铜罩同步引入铜掺杂离子，以先获得非晶沉积薄膜，后经过在空气气氛下热处理的方法制得。相比于不掺杂的钛酸钡/镍锌铁氧体复相薄膜，这种制备方法可以获得在复相体系中铁磁相具有(111)取向生长特征的铁电、铁磁两相复合薄膜。这种铁磁相(111)取向生长的铁电、铁磁两相复合薄膜有利于实现高性能磁、电耦合，相对制备工艺较为简单，成本低廉。
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公开(公告)号：CN105203244B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510683154.X
申请日：2015-10-20
Applicant: 浙江大学
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明公开了一种具有不规则表面微突的电子皮肤，从下往上依次包括衬底、支撑层、压敏感应层、电极层及柔性保护层，柔性保护层边缘通过双面粘性层与衬底粘结，将支撑层、压敏感应层及电极层封装；所述的支撑层表面与压敏感应层表面均具有微突起；该电子皮肤是利用表面微观高度不均一的材料作为模板采用化学溶液法制得。本发明的电子皮肤具有双灵敏度特性，在低压力区域高达909kPa‑1，在高压力区域达到46kPa‑1，其总的压力敏感区间由可达到20kPa以上。本发明的电子皮肤及其制备方法新颖简单，效果显著，性能优异且成本低廉，具有用于机器人领域的巨大潜力和优势。
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