-
公开(公告)号：CN110028059B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201910196054.2
申请日：2019-03-15
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/186
Abstract: 本发明提供一种等离子体增强化学气相沉积制备石墨烯的方法，减少制备过程中等离子体对石墨烯的破坏，生长均匀连续的高质量石墨烯。该制备石墨烯的方法依次包括以下步骤：1)将铜管放入石英管内，将基底放入铜管内；2)将内置有铜管和基底的石英管放入等离子体增强化学气相沉积的反应炉中，向反应炉内通入氢气并对基底进行退火处理，然后将反应炉的温度从退火温度降至600℃；3)调节氢气流量为50～100sccm并通入甲烷，甲烷流量为5sccm，打开射频、进行石墨烯生长，射频功率为200W，生长5～180min后关闭射频和加热装置，并停止向反应炉内通入氢气和甲烷，将反应炉冷却至室温。
-
公开(公告)号：CN108439375B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201810226950.4
申请日：2018-03-15
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/184
Abstract: 本发明公开了用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法，包括使用PMMA旋涂在石墨烯表面形成保护层，加热固化PMMA，形成PMMA‑石墨烯‑铜箔；配置能腐蚀铜的腐蚀溶液，给腐蚀溶液加载电压形成电场；将PMMA‑石墨烯‑铜箔飘在腐蚀溶液液面上，形成PMMA‑石墨烯；铜箔腐蚀完成后，将PMMA‑石墨烯从溶液中捞起放入去离子水中清洗；水分控干之后加热基底，去除基底和石墨烯之间残留的水分并且加强石墨烯与基底的结合，使用良有机溶剂去除石墨烯表面的PMMA，获得石墨烯‑基底样品，用异丙醇清洗石墨烯‑基底样品样品表面并晾干。本发明能够避免铜箔溶解成小块儿导致石墨烯受损。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110028059A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910196054.2
申请日：2019-03-15
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/186
Abstract: 本发明提供一种等离子体增强化学气相沉积制备石墨烯的方法，减少制备过程中等离子体对石墨烯的破坏，生长均匀连续的高质量石墨烯。该制备石墨烯的方法依次包括以下步骤：1)将铜管放入石英管内，将基底放入铜管内；2)将内置有铜管和基底的石英管放入等离子体增强化学气相沉积的反应炉中，向反应炉内通入氢气并对基底进行退火处理，然后将反应炉的温度从退火温度降至600℃；3)调节氢气流量为50～100sccm并通入甲烷，甲烷流量为5sccm，打开射频、进行石墨烯生长，射频功率为200W，生长5～180min后关闭射频和加热装置，并停止向反应炉内通入氢气和甲烷，将反应炉冷却至室温。
-
公开(公告)号：CN111217364A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201811427260.1
申请日：2018-11-27
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/194
Abstract: 一种基于石墨烯胶带的快速转移方法，包括配置胶带溶液，形成胶带薄膜；得到石墨烯薄膜；将薄膜胶带的工作面贴到石墨烯薄膜上，得到石墨烯胶带；将石墨烯胶带漂浮在去离子水表面，清洗2-3次；对需要的目标基底进行表面清洁，准备转移石墨烯；将石墨烯胶带从去离子水中取出，放置在目标基底上，使石墨烯胶带和目标基底完全贴合，石墨烯与目标基底接触；将石墨烯胶带和目标基底置于红外烤灯下，加热使石墨烯胶带软化；待水分完全蒸发后，缓慢将胶带撕下，完成从胶带到目标基底的石墨烯转移。本发明具有对专业设备依赖低、转移过程简洁、能够完整转移石墨烯并长期保存石墨烯的优点。
-
公开(公告)号：CN108439375A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810226950.4
申请日：2018-03-15
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/184
Abstract: 本发明公开了用于石墨烯转移时铜箔定向腐蚀的方法，包括使用PMMA旋涂在石墨烯表面形成保护层，加热固化PMMA，形成PMMA-石墨烯-铜箔；配置能腐蚀铜的腐蚀溶液，给腐蚀溶液加载电压形成电场；将PMMA-石墨烯-铜箔飘在腐蚀溶液液面上，形成PMMA-石墨烯；铜箔腐蚀完成后，将PMMA-石墨烯从溶液中捞起放入去离子水中清洗；水分控干之后加热基底，去除基底和石墨烯之间残留的水分并且加强石墨烯与基底的结合，使用良有机溶剂去除石墨烯表面的PMMA，获得石墨烯-基底样品，用异丙醇清洗石墨烯-基底样品样品表面并晾干。本发明能够避免铜箔溶解成小块儿导致石墨烯受损。
-
公开(公告)号：CN108314028A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810212609.3
申请日：2018-03-15
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/194
Abstract: 本发明公开了一种无聚合物湿法转移石墨烯方法，包括将生长有石墨烯的铜箔清洗并吹干；配置浓度腐蚀溶液；在石墨烯-铜箔上滴加庚烷，庚烷完全覆盖石墨烯表面，石墨烯表面形成一层庚烷层；将具有庚烷层的石墨烯-铜箔漂浮在腐蚀溶液的液面上，铜箔与腐蚀溶液位于液面上，石墨烯位于铜箔之上；在腐蚀溶液中加入庚烷；等待铜箔溶解完毕，将基底的氧化层水平地置于石墨烯上方，使基底与石墨烯面接触；将基底缓慢的压向石墨烯，直到石墨烯与基底充分接触，石墨烯附着于基底，形成石墨烯-基底；获得石墨烯-基底并清洗，去除腐蚀溶液、残留的金属和庚烷；干燥获得洁净的石墨烯-基底。本发明能够完整转移石墨烯且不引入杂质。
-
公开(公告)号：CN111217364B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN201811427260.1
申请日：2018-11-27
Applicant: 浙江大学
IPC: C01B32/194
Abstract: 一种基于石墨烯胶带的快速转移方法，包括配置胶带溶液，形成胶带薄膜；得到石墨烯薄膜；将薄膜胶带的工作面贴到石墨烯薄膜上，得到石墨烯胶带；将石墨烯胶带漂浮在去离子水表面，清洗2‑3次；对需要的目标基底进行表面清洁，准备转移石墨烯；将石墨烯胶带从去离子水中取出，放置在目标基底上，使石墨烯胶带和目标基底完全贴合，石墨烯与目标基底接触；将石墨烯胶带和目标基底置于红外烤灯下，加热使石墨烯胶带软化；待水分完全蒸发后，缓慢将胶带撕下，完成从胶带到目标基底的石墨烯转移。本发明具有对专业设备依赖低、转移过程简洁、能够完整转移石墨烯并长期保存石墨烯的优点。
-
-
-
-
-
-
Search Results
7
records
(took 0.013 seconds)
