一种耐腐蚀硅化钛镀膜玻璃及其制备方法

    公开(公告)号:CN101475318B

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN200910095672.4

    申请日:2009-01-19

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀硅化钛(Ti5Si3)镀膜玻璃及其制备方法。以硅烷和四氯化钛为反应前驱体,以氮气为稀释气体和保护气体,通过反应前驱体在650~740℃下在玻璃表面沉积得到Ti5Si3镀膜玻璃。所制备的该Ti5Si3镀膜玻璃厚度在200~300nm之间,红外反射率在85~93%之间,可见光区透过率在30~20%之间,是一种兼具调光隔热以及低辐射功能的耐腐蚀硅化钛镀膜玻璃。与已有的TiSi2镀膜玻璃相比,该硅化钛(Ti5Si3)镀膜玻璃的耐腐蚀性好,具有更加广阔的应用前景。该镀膜玻璃的制备也可在浮法玻璃生产线的锡槽或过渡辊合或退火窑前端进行,可与浮法在线玻璃生产工艺相结合,节约能源。

    一种耐腐蚀硅化钛镀膜玻璃及其制备方法

    公开(公告)号:CN101475318A

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200910095672.4

    申请日:2009-01-19

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀硅化钛(Ti5Si3)镀膜玻璃及其制备方法。以硅烷和四氯化钛为反应前驱体,以氮气为稀释气体和保护气体,通过反应前驱体在650~740℃下在玻璃表面沉积得到Ti5Si3镀膜玻璃。所制备的该Ti5Si3镀膜玻璃厚度在200~300nm之间,红外反射率在85~93%之间,可见光区透过率在30~20%之间,是一种兼具调光隔热以及低辐射功能的耐腐蚀硅化钛镀膜玻璃。与已有的TiSi2镀膜玻璃相比,该硅化钛(Ti5Si3)镀膜玻璃的耐腐蚀性好,具有更加广阔的应用前景。该镀膜玻璃的制备也可在浮法玻璃生产线的锡槽或过渡辊合或退火窑前端进行,可与浮法在线玻璃生产工艺相结合,节约能源。

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