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公开(公告)号：CN110702383B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201910959034.6
申请日：2019-10-10
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种基于扩展旋转对称结构光照明的波前重建装置及方法，该装置包括依次设置的激光器、衰减镜、显微物镜、针孔、准直透镜、分光棱镜、空间光调制器、待测透镜、图像采集装置。该方法利用空间光调制器将入射的平行光调制为类相位光栅的结构光，通过改变空间光调制器的调制图案、利用空间光调制器的像素单元不是无限小的特性，使之生成不同的结构光，通过在焦平面采集衍射光斑，利用算法同时更新目标面与结构光面，不仅恢复出待测目标，也恢复出真实的结构光波前，克服由于未精确已知结构光信息带来的恢复误差。此方法能够实现高陡度波前相位恢复，而且不需要移动图像采集装置，通过引入空间光调制器规避了传统旋转照明带来的旋转误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110470245A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910772333.9
申请日：2019-08-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种基于菲涅尔波带片衍射信息融合的相位恢复检测装置及相位恢复方法，装置包括沿光路方向依次设置的激光器、衰减镜、显微物镜、小孔滤波器、准直物镜、待测元件、菲涅尔波带片、图像采集装置。该装置使用菲涅尔波带片代替传统透镜作为光束会聚元件，利用菲涅尔波带片多焦点特性，使采集的衍射光斑中包含更多的衍射信息量。该方法使用由菲涅尔波带片调制的衍射光强分布进行恢复，能够实现对待测波前更宽频段的重建。该装置简单，无需改变离焦位置即可实现宽频段衍射信息的采集，并且方法具有更高的算法收敛速度和波前重建精度，在检测宽频段大波前误差时精度高。
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公开(公告)号：CN110375964B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201910650327.6
申请日：2019-07-18
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于扩展奈波尔‑泽尼克模式优化相位恢复的波前误差检测装置，其包括依次设置的点光源、半透半反镜、待测透镜、平面反射镜、图像传感器，该方法将待测元件的波前误差使用泽尼克多项式表征，并基于扩展奈波尔‑泽尼克衍射理论求解泽尼克多项式系数。该方法能够实现大口径光学元件的一次性全口径波前误差测量，并且能够使用部分过曝图像实现波前误差的精准复原，同时克服了图像传感器采集图像时，由于有限的动态范围带来的不过曝与高信噪比之间的矛盾。该检测实验装置简单，对实验环境要求不高，该方法快速简单，相比于传统迭代相位恢复方法的计算量小，检测精度高，抗噪性能强。
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公开(公告)号：CN110702383A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201910959034.6
申请日：2019-10-10
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种基于扩展旋转对称结构光照明的波前重建装置及方法，该装置包括依次设置的激光器、衰减镜、显微物镜、针孔、准直透镜、分光棱镜、空间光调制器、待测透镜、图像采集装置。该方法利用空间光调制器将入射的平行光调制为类相位光栅的结构光，通过改变空间光调制器的调制图案、利用空间光调制器的像素单元不是无限小的特性，使之生成不同的结构光，通过在焦平面采集衍射光斑，利用算法同时更新目标面与结构光面，不仅恢复出待测目标，也恢复出真实的结构光波前，克服由于未精确已知结构光信息带来的恢复误差。此方法能够实现高陡度波前相位恢复，而且不需要移动图像采集装置，通过引入空间光调制器规避了传统旋转照明带来的旋转误差。
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公开(公告)号：CN110375964A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910650327.6
申请日：2019-07-18
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于扩展奈波尔-泽尼克模式优化相位恢复的波前误差检测装置，其包括依次设置的点光源、半透半反镜、待测透镜、平面反射镜、图像传感器，该方法将待测元件的波前误差使用泽尼克多项式表征，并基于扩展奈波尔-泽尼克衍射理论求解泽尼克多项式系数。该方法能够实现大口径光学元件的一次性全口径波前误差测量，并且能够使用部分过曝图像实现波前误差的精准复原，同时克服了图像传感器采集图像时，由于有限的动态范围带来的不过曝与高信噪比之间的矛盾。该检测实验装置简单，对实验环境要求不高，该方法快速简单，相比于传统迭代相位恢复方法的计算量小，检测精度高，抗噪性能强。
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公开(公告)号：CN110470245B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201910772333.9
申请日：2019-08-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开一种基于菲涅尔波带片衍射信息融合的相位恢复检测装置及相位恢复方法，装置包括沿光路方向依次设置的激光器、衰减镜、显微物镜、小孔滤波器、准直物镜、待测元件、菲涅尔波带片、图像采集装置。该装置使用菲涅尔波带片代替传统透镜作为光束会聚元件，利用菲涅尔波带片多焦点特性，使采集的衍射光斑中包含更多的衍射信息量。该方法使用由菲涅尔波带片调制的衍射光强分布进行恢复，能够实现对待测波前更宽频段的重建。该装置简单，无需改变离焦位置即可实现宽频段衍射信息的采集，并且方法具有更高的算法收敛速度和波前重建精度，在检测宽频段大波前误差时精度高。
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