公开(公告)号：CN116218104B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202310230582.1

申请日：2023-03-11

Applicant: 浙江圆通新材料有限公司

Inventor： 田臻

IPC: C08L27/12 ,  C08L33/16 ,  C08K3/04 ,  C08K3/22

Abstract: 本发明涉及密封圈领域，具体关于一种耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的制备方法；本发明利用氟橡胶、氟弹性体、氧化石墨烯、受阻酚、氧化镁、硫化剂、增容剂，采用机械共混法制备耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈；本发明制备的耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的耐苄基甲苯浸渍性能优异；氧化石墨烯能够有效增大复合材料的拉伸强度；阻尼填料受阻酚HP1098能够增大复合材料的损耗因子，扩宽阻尼温域；氟弹性体能够有效提高复合材料的加工性能，使氟橡胶在半导体设备用超纯耐plasma密封圈中的得到很好的应用。

公开(公告)号：CN116218104A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202310230582.1

申请日：2023-03-11

Applicant: 浙江圆通新材料有限公司

Inventor： 田臻

IPC: C08L27/12 ,  C08L33/16 ,  C08K3/04 ,  C08K3/22

Abstract: 本发明涉及密封圈领域，具体关于一种耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的制备方法；本发明利用氟橡胶、氟弹性体、氧化石墨烯、受阻酚、氧化镁、硫化剂、增容剂，采用机械共混法制备耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈；本发明制备的耐plasma的半导体用石墨烯基氟橡胶密封圈的耐苄基甲苯浸渍性能优异；氧化石墨烯能够有效增大复合材料的拉伸强度；阻尼填料受阻酚HP1098能够增大复合材料的损耗因子，扩宽阻尼温域；氟弹性体能够有效提高复合材料的加工性能，使氟橡胶在半导体设备用超纯耐plasma密封圈中的得到很好的应用。