基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法

    公开(公告)号:CN112691627B

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202011465394.X

    申请日:2020-12-14

    Abstract: 本申请公开了一种基于CRDS的产物采样装置、产物检测系统和产物检测方法,基于CRDS的产物采样装置包括等离子体催化反应器、气体隔离室、配气室、光腔连接室、驱动泵;其中,配气室的第一进口设置第二阀门,第二进口连接反应气体的气体流道的末端,反应气体的气体流道中依次设置第一阀门、等离子体催化反应器、气体隔离室;配气室的出口连接光腔连接室进口;驱动泵驱动气体从配气室向光腔连接室流动;光腔连接室通过两个相对分布的接口固定在直线型的光腔的中部。本申请提供的技术方案解决了等离子体催化气体产物采样过程中,等离子体催化反应器和光腔压力不稳定的问题,避免了催化剂进入光腔,优化了激光分析环境,延长了光腔的寿命。

Patent Agency Ranking