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公开(公告)号：CN1020181C
公开(公告)日：1993-03-31
申请号：CN88108878
申请日：1988-12-20
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
IPC分类号： B23H3/10
CPC分类号： B01D61/147 , B01D61/145 , B01D65/02 , B01D2321/04 , B01D2321/16 , B01D2321/2066 , B23H1/10
摘要： 一个电腐蚀机的加工液体通过一个泵16传送到一个有一个薄膜过滤器壁22的过滤器17。为着改进过滤作用，过滤器设计成这样使浓缩液在一个循环回路6、16、17、18、6里基本上是跟薄膜过滤器壁相切地运送，并且每单位时间基本上跟薄膜过滤器壁相切地运送的浓缩液的量大于每单位时间从过滤器分开出来的渗出液的量。
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公开(公告)号：CN1040752A
公开(公告)日：1990-03-28
申请号：CN89106570.9
申请日：1989-08-19
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B01D65/02 , B01D61/14 , B01D2321/2066 , B01D2321/2083 , B23H1/10
摘要： 一种制备电腐蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩料流即从浓缩料槽(1)供到该过滤器中，滤透物流则从该过滤器中排出。根据本发明，该过滤器系由薄膜过滤器(3)构成，通过定期反转浓缩料的流动方向来防止薄膜过滤器(3)堵塞。
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公开(公告)号：CN1040751A
公开(公告)日：1990-03-28
申请号：CN89106569.5
申请日：1989-08-19
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B01D61/14 , B01D65/02 , B01D2321/2025 , B01D2321/2066 , B23H1/10 , Y10S204/13
摘要： 一种制备电腐蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩液流即从浓缩液槽(1)供到该过滤器(3)中，滤透物流从该过滤器(3)中排出。工作液能在相当长的一段时间内保持在一要求的质量范围内，这是因为该过滤器系制成薄膜过滤器，而且设有一废料容器(8)，至少部分浓缩液流即供到该过滤器中，通过毛毯过滤器(9)制备的部分液流则从该过滤器回流到浓缩液槽(1)中。
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公开(公告)号：CN1019763B
公开(公告)日：1992-12-30
申请号：CN89106570.9
申请日：1989-08-19
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B01D65/02 , B01D61/14 , B01D2321/2066 , B01D2321/2083 , B23H1/10
摘要： 一种制备电蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩料流即从浓缩料槽(1)供到该过滤器中，滤透物流则从该过滤器中排出。根据本发明，该过滤器系由薄膜过滤器(3)构成，通过定期反转浓缩料的流动方向来防止薄膜过滤器(3)堵塞。
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公开(公告)号：CN1019645B
公开(公告)日：1992-12-30
申请号：CN89106571.7
申请日：1989-08-19
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B23H1/10 , B01D61/14 , B01D65/02 , B01D2321/04 , B01D2321/2083
摘要： 一种制备电蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩液流即从浓缩液槽(1)供到该过滤器中，滤透物流从该过滤器中排出。为获取优质的加工液，过滤器系由薄膜过滤器(3)构成，按某一回洗频率进行回洗，该回洗频率是电蚀工艺的一个参数。
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公开(公告)号：CN1019762B
公开(公告)日：1992-12-30
申请号：CN89106569.5
申请日：1989-08-19
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B01D61/14 , B01D65/02 , B01D2321/2025 , B01D2321/2066 , B23H1/10 , Y10S204/13
摘要： 一种制备电蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩液流即从浓缩液槽(1)供到该过滤器(3)中，滤透物流从该过滤器(3)中排出。工作液能在相当长的一段时间内保持在一要求的质量范围内，这是因为该过滤器系制成薄膜过滤器，而且设有一废料容器(8)，至少部分浓缩液流即供到该过滤器中，通过毛毯过滤器(9)制备的部分液流则从该过滤器回流到浓缩液槽(1)中。
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公开(公告)号：CN1040753A
公开(公告)日：1990-03-28
申请号：CN89106571.7
申请日：1989-08-19
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B23H1/10 , B01D61/14 , B01D65/02 , B01D2321/04 , B01D2321/2083
摘要： 一种制备电蚀机加工液用的设备，具有一过滤器(3)，浓缩液流即从浓缩液槽(1)供到该过滤器中，滤透物流从该过滤器中排出。为获取优质的加工液，过滤器系由薄膜过滤器(3)构成，按某一回洗频率进行回洗，该回洗频率是电蚀工艺的一个参数。
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公开(公告)号：CN1033588A
公开(公告)日：1989-07-05
申请号：CN88108878
申请日：1988-12-20
申请人： 洛迦诺电子工业股份有限公司
CPC分类号： B01D61/147 , B01D61/145 , B01D65/02 , B01D2321/04 , B01D2321/16 , B01D2321/2066 , B23H1/10
摘要： 一个电腐蚀机的加工液体通过一个泵16传送到一个有一个薄膜过滤器壁22的过滤器17。为着改进过滤作用，过滤器设计成这样使浓缩液在一个循环回路6、16、17、18、6里基本上是跟薄膜过滤器壁相切地运送，并且每单位时间基本上跟薄膜过滤器壁相切地运送的浓缩液的量大于每单位时间从过滤器分开出来的渗出液的量。
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