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公开(公告)号：CN102164869A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137638.7
申请日：2009-09-24
Applicant: 法国圣-戈班玻璃公司
CPC classification number: B05D1/322 , B05D1/38 , B05D3/12 , B05D5/00 , C03C17/002 , C03C17/06 , C03C17/23 , C03C2218/328 , C03C2218/34 , H01L51/5203 , H01L51/5206 , H01L51/5209 , H01L2251/5361 , H05K3/048 , Y10T29/49002 , Y10T428/24273
Abstract: 本发明涉及一种制造具有亚毫米级开口(10)的掩模(1)的方法，其中：对于遮蔽层，将稳定并分散在第一溶剂中的胶体纳米颗粒的溶液沉积，该颗粒具有给定的玻璃化转变温度Tg；在低于所述温度Tg的温度下进行所述遮蔽层的干燥，直到获得具有亚毫米级开口的二维网络的掩模，其具有基本上直的掩蔽区域边缘，在被称为网络掩蔽区域的区域中；通过机械和/或光学去除至少一个网络掩模区域的外部，在所述表面上形成无遮蔽的区域。本发明还涉及所述网络掩模(1)，和由此获得的具有导电固体区域的格栅。
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公开(公告)号：CN102164869B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN200980137638.7
申请日：2009-09-24
Applicant: 法国圣-戈班玻璃公司
CPC classification number: B05D1/322 , B05D1/38 , B05D3/12 , B05D5/00 , C03C17/002 , C03C17/06 , C03C17/23 , C03C2218/328 , C03C2218/34 , H01L51/5203 , H01L51/5206 , H01L51/5209 , H01L2251/5361 , H05K3/048 , Y10T29/49002 , Y10T428/24273
Abstract: 本发明涉及一种制造具有亚毫米级开口(10)的掩模(1)的方法，其中：-对于遮蔽层，将稳定并分散在第一溶剂中的胶体纳米颗粒的溶液沉积，该颗粒具有给定的玻璃化转变温度Tg；-在低于所述温度Tg的温度下进行所述遮蔽层的干燥，直到获得具有亚毫米级开口的二维网络的掩模，其具有基本上直的掩蔽区域边缘，在被称为网络掩蔽区域的区域中；-通过机械和/或光学去除至少一个网络掩模区域的外部，在所述表面上形成无遮蔽的区域。本发明还涉及所述网络掩模(1)，和由此获得的具有导电固体区域的格栅。
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公开(公告)号：CN102164868A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980137636.8
申请日：2009-09-24
Applicant: 法国圣-戈班玻璃公司
CPC classification number: C03C17/002 , B82Y20/00 , B82Y30/00 , C03C17/06 , C03C17/09 , C03C17/22 , C03C2217/252 , C03C2218/116 , C03C2218/15 , C03C2218/34 , H01L51/5203 , H01L51/56 , H01L2251/5369
Abstract: 本发明涉及制备具有亚毫米级开口(1、10)的掩模的方法，其中，将第一溶剂中的胶体纳米颗粒的第一溶液沉积而得到遮蔽层，所述颗粒具有给定的玻璃化转变温度Tg，在低于温度Tg的温度下进行称为第一遮蔽层的遮蔽层的干燥，直至得到具有基本上直边缘的亚毫米级开口的二维网络的掩膜，由此限定被称为网络掩模区的掩模区，通过在第二掩蔽区的表面上进行液体沉积而形成固体掩模区，所述固体掩模区相邻于并接触网络掩膜区，和/或形成至少一个覆盖区，所述覆盖区与网络掩模区接触，和/或在第一遮蔽层干燥后，通过液体途径填充网络掩模区的部分开口，形成经填充的掩模区。本发明还涉及所得的掩模和导电格栅。
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