公开(公告)号：CN119164283B

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202411649564.8

申请日：2024-11-19

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 宋金龙 ,  董磊 ,  张海

IPC: G01B9/02015

Abstract: 本发明提供了一种斐索干涉仪及干涉测量系统，涉及激光相干技术领域，该斐索干涉仪包括沿光的传播方向依次设置的激光器、偏振分光棱镜、准直镜、参考镜和测试镜，还包括成像系统；偏振分光棱镜与参考镜之间设置有四分之一波片，四分之一波片倾斜设置。该斐索干涉仪采用了偏振分光棱镜和四分之一波片，偏振分光棱镜具有对P偏振光/S偏振光的截光能力，可以消除分光棱镜本身产生的杂光，四分之一波片的倾斜设置可以减少四分之一波片本身产生的杂光，因此，该斐索干涉仪降低了杂光的影响。

公开(公告)号：CN119164283A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202411649564.8

申请日：2024-11-19

Applicant: 法博思(宁波)半导体设备有限公司

Inventor： 宋金龙 ,  董磊 ,  张海

IPC: G01B9/02015

Abstract: 本发明提供了一种斐索干涉仪及干涉测量系统，涉及激光相干技术领域，该斐索干涉仪包括沿光的传播方向依次设置的激光器、偏振分光棱镜、准直镜、参考镜和测试镜，还包括成像系统；偏振分光棱镜与参考镜之间设置有四分之一波片，四分之一波片倾斜设置。该斐索干涉仪采用了偏振分光棱镜和四分之一波片，偏振分光棱镜具有对P偏振光/S偏振光的截光能力，可以消除分光棱镜本身产生的杂光，四分之一波片的倾斜设置可以减少四分之一波片本身产生的杂光，因此，该斐索干涉仪降低了杂光的影响。