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公开(公告)号：CN204997508U
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201520685123.3
申请日：2015-09-07
Applicant: 河南科技学院
IPC: B24B37/11
Abstract: 本实用新型公开了一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用游离磨料抛光辊，其技术方案要点是：它包括游离磨料抛光辊基体，游离磨料抛光辊的两侧分别设有抛光辊左端支撑机构和抛光辊右端支撑机构，游离磨料抛光辊基体的外侧设有游离磨料抛光辊基体层，游离磨料抛光辊基体层的外侧设有第一粘接层，第一粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的支撑层，在游离磨料抛光辊的支撑层的外侧设有第二粘接层，第二粘接层的外侧设有游离磨料抛光辊的接触层。本实用新型结构简单、成本低廉，易于产业化和推广应用。
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