公开(公告)号：CN106811751A

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201710082541.7

申请日：2017-02-16

Applicant: 河南科技学院

Inventor： 苏建修 ,  王占奎 ,  李勇峰 ,  姚建国 ,  陈佳鹏 ,  彭亚男 ,  刘振辉 ,  李洁静

IPC: C23F3/06 ,  C09G1/02

CPC classification number: C23F3/06 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明提供了一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂，包括下述重量份的组分：磨料1～10份，磨料分散剂1～15份，氧化剂1～20份，表面活性剂2～10份，碳纳米粉0.5～5份，pH值调节剂5～20份和pH值稳定剂1～5份；所述pH值稳定剂的pH值为2。采用包括本发明提供的抛光剂的抛光液对304不锈钢进行化学机械抛光，抛光过程中各组分稳定存在，为304不锈钢化学机械抛光过程中提供稳定的抛光环境，有助于化学机械抛光持续稳定进行，充分发挥化学机械抛光的优势，进而得到抛光效果良好的304不锈钢，满足柔性衬底的要求。

公开(公告)号：CN106811751B

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201710082541.7

申请日：2017-02-16

Applicant: 河南科技学院

Inventor： 苏建修 ,  王占奎 ,  李勇峰 ,  姚建国 ,  陈佳鹏 ,  彭亚男 ,  刘振辉 ,  李洁静

IPC: C23F3/06 ,  C09G1/02

Abstract: 本发明提供了一种304不锈钢化学机械抛光用抛光剂，包括下述重量份的组分：磨料1～10份，磨料分散剂1～15份，氧化剂1～20份，表面活性剂2～10份，碳纳米粉0.5～5份，pH值调节剂5～20份和pH值稳定剂1～5份；所述pH值稳定剂的pH值为2。采用包括本发明提供的抛光剂的抛光液对304不锈钢进行化学机械抛光，抛光过程中各组分稳定存在，为304不锈钢化学机械抛光过程中提供稳定的抛光环境，有助于化学机械抛光持续稳定进行，充分发挥化学机械抛光的优势，进而得到抛光效果良好的304不锈钢，满足柔性衬底的要求。