一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置

    公开(公告)号:CN109239021A

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201811317424.5

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 本发明涉及一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置,包括一字线激光器,聚焦变焦机构、遮光箱体和线阵光电检测单元,所述的一字线激光器为圆柱体,所述的一字线激光器的两端布置有用于固定支撑所述的一字线激光器的激光器支撑柱,所述的一字线激光器的输出端设置有聚焦变焦机构,所述的聚焦变焦机构的侧面与所述的激光器支撑柱的侧面固定连接,总的,本发明具有结构简单,精度高的优点。

    一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置

    公开(公告)号:CN209727762U

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201821830461.1

    申请日:2018-11-07

    Abstract: 本实用新型涉及一种非扫描聚焦式光学表面等离子共振检测装置,包括一字线激光器,聚焦变焦机构、遮光箱体和线阵光电检测单元,所述的一字线激光器为圆柱体,所述的一字线激光器的两端布置有用于固定支撑所述的一字线激光器的激光器支撑柱,所述的一字线激光器的输出端设置有聚焦变焦机构,所述的聚焦变焦机构的侧面与所述的激光器支撑柱的侧面固定连接,总的,本实用新型具有结构简单,精度高的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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