公开(公告)号：CN105304732A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201510598395.4

申请日：2015-09-18

申请人： 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司

发明人： 刘佳

IPC分类号： H01L31/0224

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L31/022483

摘要： 本发明提供了制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用，该方法包括：(1)利用导电氧化物，在衬底的一个表面上进行沉积处理，以便形成沉积薄膜，沉积处理包括依次进行的一次沉积和二次沉积；以及(2)对沉积薄膜进行湿法蚀刻，以便形成透明导电氧化物薄膜，其中，一次沉积是在0～400摄氏度的温度下进行的，以及二次沉积是在400～800摄氏度的温度下进行的。发明人发现，利用本发明的该方法，能够快速有效地制备获得透明导电氧化物薄膜，且步骤简单，操作容易、方便快捷，制备获得的透明导电氧化物薄膜具有较高的光透过率、高雾度和较高的均匀性。

公开(公告)号：CN105304732B

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201510598395.4

申请日：2015-09-18

申请人： 河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司

发明人： 刘佳

IPC分类号： H01L31/0224

摘要： 本发明提供了制备透明导电氧化物薄膜的方法及其应用，该方法包括：(1)利用导电氧化物，在衬底的一个表面上进行沉积处理，以便形成沉积薄膜，沉积处理包括依次进行的一次沉积和二次沉积；以及(2)对沉积薄膜进行湿法蚀刻，以便形成透明导电氧化物薄膜，其中，一次沉积是在0～400摄氏度的温度下进行的，以及二次沉积是在400～800摄氏度的温度下进行的。发明人发现，利用本发明的该方法，能够快速有效地制备获得透明导电氧化物薄膜，且步骤简单，操作容易、方便快捷，制备获得的透明导电氧化物薄膜具有较高的光透过率、高雾度和较高的均匀性。