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公开(公告)号：CN119710606A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411901173.0
申请日：2024-12-23
Applicant: 江苏科技大学
IPC: C23C14/50 , C23C14/56 , C23C16/458 , C23C16/54
Abstract: 本申请公开了一种用于真空镀膜仪中的基片进样器装置，进样器底座与进样器盖板对位组装，且进样器底座上分别设置有进样槽和齿轮槽；基片架装填基片后与基片盖板组装置于进样槽内；传动齿轮安装在齿轮槽内；齿条设置在基片架内，且齿条与基片架为一体设计，齿条与传动齿轮啮合；扇形齿轮与转接杆固定相连，且扇形齿轮的一端与传动齿轮啮合。由此，可一次性将多片不同规格基片加装在镀膜仪内，实现多膜连镀功能，本使用时，不需要解除真空镀膜仪腔室真空即可实现基片的轮替更换，极大压缩仪器运行中反复“抽/解真空”和“加/散热”的空转时间，缩短了真空镀膜仪运行周期、提高了效率，延长了仪器寿命，降低了能耗、污染及人力成本。
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