铜合金薄膜、基于铜合金薄膜服役后的保护层和制备方法

    公开(公告)号:CN114058897B

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202111412832.0

    申请日:2021-11-25

    Abstract: 本发明公开了一种铜合金薄膜、基于铜合金薄膜服役后的保护层和制备方法,该铜合金薄膜为二元合金,包括铜元素以及可以与铜形成正混合熵的添加元素;铜元素的质量百分含量为95~99wt%;通过先在基底上形成具有正混合焓的铜合金薄膜;然后对铜合金薄膜施加能量场,使其中的添加元素析出并在铜薄膜表面形成保护层。本发明采取具有正的混合焓的铜合金薄膜,通过压差的作用导致合金中的添加元素向表面运动,最终使添加元素覆盖在铜上,抑制了金属铜的电化学迁移,提高铜线路板对电化学迁移的抵抗能力,整体制备方法可以一次形成双元素镀层,简化了工艺,提高了镀层的可靠性。

    柔性场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN106941130A

    公开(公告)日:2017-07-11

    申请号:CN201610003954.7

    申请日:2016-01-05

    Inventor: 刘瑞 盛洪超

    CPC classification number: H01L51/0097 H01L51/0512 H01L51/0541 H01L51/102

    Abstract: 本发明公开了一种柔性场效应晶体管及其制备方法。所述柔性场效应晶体管包括:间隔设置在柔性衬底上且位于同一平面的源极和漏极,所述源极和漏极之间经半导体导电沟道电连接;覆盖于所述半导体导电沟道上的介质层;以及,叠设在所述介质层上的栅极。其中,所述半导体导电沟道采用碳纳米管层或氧化还原石墨烯层。本发明通过采用微机电系统加工技术、印刷电子技术与纳米碳材料等相结合,在柔性衬底上制备具有性能良好的场效应晶体管,其结构简单、工艺灵活、成本较低、适于大批量生产。

    铜合金薄膜、基于铜合金薄膜服役后的保护层和制备方法

    公开(公告)号:CN114058897A

    公开(公告)日:2022-02-18

    申请号:CN202111412832.0

    申请日:2021-11-25

    Abstract: 本发明公开了一种铜合金薄膜、基于铜合金薄膜服役后的保护层和制备方法,该铜合金薄膜为二元合金,包括铜元素以及可以与铜形成正混合熵的添加元素;铜元素的质量百分含量为95~99wt%;通过先在基底上形成具有正混合焓的铜合金薄膜;然后对铜合金薄膜施加能量场,使其中的添加元素析出并在铜薄膜表面形成保护层。本发明采取具有正的混合焓的铜合金薄膜,通过压差的作用导致合金中的添加元素向表面运动,最终使添加元素覆盖在铜上,抑制了金属铜的电化学迁移,提高铜线路板对电化学迁移的抵抗能力,整体制备方法可以一次形成双元素镀层,简化了工艺,提高了镀层的可靠性。

    一种柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106441646A

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201610953914.9

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明提供一种柔性压力传感器,包括柔性衬底、柔性上盖和间隔设置在所述柔性衬底和所述柔性上盖之间的电极,所述电极之间设置包含有半导体电阻和导电沟道的电路。本发明由于采用微纳米加工技术结合现代印刷电子技术,可在纯柔性衬底上实现惠斯通电桥式压力传感器的构建,避免传统半导体工艺制备硬质衬底(如硅)压力传感器的工艺流程复杂、高温工艺影响大等方面的缺陷,实现柔性传感器的一体化制备。通过采用微纳米加工技术、现代印刷电子技术、纳米碳材料和聚合物材料等相结合,在柔性衬底上制备具有惠斯通电桥结构式的柔性压力传感器,其制备工艺简单、成本较低、性能良好、适于规模化生产。

    一种阵列气动和液动集成的箱式波能发电装置

    公开(公告)号:CN119878433A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202510268504.X

    申请日:2025-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种阵列气动和液动集成的箱式波能发电装置,包括有多个浮箱,浮箱的内部设置有振荡水柱式发电装置、滚珠丝杆式PTO发电装置和储能装置,振荡水柱式发电装置设置在浮箱内部上方的气室内,气室与浮箱下方的空腔之间通过气道连通,滚珠丝杆式PTO发电装置设置在浮箱内部侧壁的密闭腔室内,振荡水柱式发电装置以及滚珠丝杆式PTO发电装置分别通过电流整合器将产生的电能输送入储能装置中存储,本申请将振荡水柱式发电装置和滚珠丝杆式PTO发电装置集成在浮箱内,更加充分的利用波浪能转化为电能。

    一种柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106441646B

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201610953914.9

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明提供一种柔性压力传感器,包括柔性衬底、柔性上盖和间隔设置在所述柔性衬底和所述柔性上盖之间的电极,所述电极之间设置包含有半导体电阻和导电沟道的电路。本发明由于采用微纳米加工技术结合现代印刷电子技术,可在纯柔性衬底上实现惠斯通电桥式压力传感器的构建,避免传统半导体工艺制备硬质衬底(如硅)压力传感器的工艺流程复杂、高温工艺影响大等方面的缺陷,实现柔性传感器的一体化制备。通过采用微纳米加工技术、现代印刷电子技术、纳米碳材料和聚合物材料等相结合,在柔性衬底上制备具有惠斯通电桥结构式的柔性压力传感器,其制备工艺简单、成本较低、性能良好、适于规模化生产。

    柔性场效应晶体管
    7.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205452360U

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201620008969.8

    申请日:2016-01-05

    Inventor: 刘瑞 盛洪超

    Abstract: 本实用新型公开了一种柔性场效应晶体管,涉及半导体技术领域。所述柔性场效应晶体管包括:间隔设置在柔性衬底上且位于同一平面的源极和漏极,所述源极和漏极之间经半导体导电沟道电连接,覆盖于所述半导体导电沟道上的介电层,以及,叠设在所述介电层上的栅极。其中,所述半导体导电沟道采用碳纳米管层或氧化还原石墨烯层。本实用新型通过采用微机电系统加工技术、印刷电子技术与纳米碳材料等相结合,在柔性衬底上制备具有性能良好的场效应晶体管,其结构简单、工艺灵活、成本较低、适于大批量生产。

Patent Agency Ranking