一种高熵非晶薄膜及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN110106473B

    公开(公告)日:2021-05-18

    申请号:CN201910429354.0

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明通过在等原子比的CoCrFeMnNi中引入非金属元素N,磁控溅射法制得了化学组成及原子比为CoCrFeMnNiN(0.35~0.75)的高熵合金薄膜,通过本发明方法制得的高熵合金薄膜为非晶态结构,其硬度值可达14~18GPa,弹性模量可达170~190GPa,疲劳寿命大于12×104周次;制备的高熵非晶薄膜分别在36~38%浓盐酸(wt%)和98%浓硫酸(wt%)浸泡180天表面无变化;引入N元素后不仅使硬度、弹性模量和疲劳寿命在一定程度上提高,还具有很好的耐腐蚀性,能够应用于工业设备特别是盐酸合成炉设备的零部件表面。

    一种高熵非晶薄膜及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN110106473A

    公开(公告)日:2019-08-09

    申请号:CN201910429354.0

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明通过在等原子比的CoCrFeMnNi中引入非金属元素N,磁控溅射法制得了化学组成及原子比为CoCrFeMnNiN(0.35~0.75)的高熵合金薄膜,通过本发明方法制得的高熵合金薄膜为非晶态结构,其硬度值可达14~18GPa,弹性模量可达170~190GPa,疲劳寿命大于12×104周次;制备的高熵非晶薄膜分别在36~38%浓盐酸(wt%)和98%浓硫酸(wt%)浸泡180天表面无变化;引入N元素后不仅使硬度、弹性模量和疲劳寿命在一定程度上提高,还具有很好的耐腐蚀性,能够应用于工业设备特别是盐酸合成炉设备的零部件表面。

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