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公开(公告)号：CN118404474B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410876510.9
申请日：2024-07-02
申请人： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种靶材加工用抛光设备，属于靶材加工技术领域，其包括：基座；夹具，所述夹具用于装夹靶材并控制其旋转，所述夹具设置在所述基座的顶部；校准机构，用于校准靶材的装夹平整度，所述校准机构包括第一电动推杆、平移座、升降台和旋转台，所述第一电动推杆固定安装在所述基座的内部，且所述平移座固定连接在所述平移座的一侧，所述平移座的顶部固定安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端固定连接在所述升降台的底部，且所述升降台的顶部固定连接有固定轴。本发明能够在抛光前和抛光过程中对靶材的装夹平整度进行检测和校准，并能够在抛光完成后检测抛光效果，从而保证抛光精细度。
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公开(公告)号：CN118752328A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411241285.8
申请日：2024-09-05
申请人： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司
IPC分类号： B24B7/10 , B24B7/07 , B24B47/12 , B24B41/06 , B24B55/02 , B24B47/20 , B24B49/16 , B24B49/14 , B24B49/00
摘要： 本发明公开了一种高纯铝平面靶材磨削加工装置，属于靶材加工技术领域，其包括：底座，所述底座的顶部设置有控制器和用于固定靶材的固定夹具；磨削机构，用于实现靶材的磨削加工，所述磨削机构包括升降框、平移板、安装架、侧板和磨削轮；冷却机构，用于对靶材和砂轮进行冷却，所述冷却机构包括压缩箱、喷淋筒、连接轴和旋转电机。本发明通过设置的磨削机构、冷却机构与红外测温仪的配合，可在磨削过程中实现对磨削区域的温度监测，并根据监测结果自动调整磨削进给速度和冷却强度，以避免过热导致靶材变形或磨具损坏，并通过设置的压力传感器监测磨具受到的阻力，根据阻力调整进给速度，并及时体现更换磨具。
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公开(公告)号：CN118639165A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410797173.4
申请日：2024-06-20
申请人： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司
IPC分类号： C23C4/134 , B01F27/61 , B01F27/706 , B01F33/83 , B01F35/71 , C23C4/11 , C23C4/16 , C23C14/08 , C23C14/35
摘要： 本发明公开了一种氧化铌旋转靶材的混料装置及其制备方法，涉及靶材生产技术领域，混料装置包括进料机构，所述进料机构的下方焊接有箱体，所述进料机构和箱体连接位置上方内部设有筛料机构，所述进料机构的侧壁开有第一箱门，所述箱体的内部设有混料机构，所述混料机构的下方设有收料斗，所述箱体的顶部设有电机，所述箱体的下方设有多个支腿，所述箱体侧壁下部开有第二箱门，将一定比例的粉末混合后放入混料装置内进行混合，混合好后进行喷涂，本装置结构简单，节约成本，其混合更加均匀，使用维护简单，提高产品质量。
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公开(公告)号：CN118404474A
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN202410876510.9
申请日：2024-07-02
申请人： 江苏海泰光电材料科技股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种靶材加工用抛光设备，属于靶材加工技术领域，其包括：基座；夹具，所述夹具用于装夹靶材并控制其旋转，所述夹具设置在所述基座的顶部；校准机构，用于校准靶材的装夹平整度，所述校准机构包括第一电动推杆、平移座、升降台和旋转台，所述第一电动推杆固定安装在所述基座的内部，且所述平移座固定连接在所述平移座的一侧，所述平移座的顶部固定安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的输出端固定连接在所述升降台的底部，且所述升降台的顶部固定连接有固定轴。本发明能够在抛光前和抛光过程中对靶材的装夹平整度进行检测和校准，并能够在抛光完成后检测抛光效果，从而保证抛光精细度。
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