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公开(公告)号：CN103996564A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410162126.9
申请日：2014-04-22
Applicant: 江苏森博传感技术有限公司
IPC: H01H33/664 , H01H33/668
Abstract: 一种内置微型无线无源真空传感器的真空灭弧室，涉及输配电设备技术、真空技术和微机电传感器领域，包括真空灭弧室本体、无线无源真空传感器，微型无线无源真空传感器置于真空灭弧室本体内。所述的微型无线无源真空传感器与真空灭弧室本体外部的真空检测与预警装置无线信号连接，具有真空灭弧室真空度在线实时、直接监测，不改变现有真空灭弧室结构和制造工艺，安全、经济、维护方便、监测精度高的优点。
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公开(公告)号：CN103994854A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410162059.0
申请日：2014-04-22
Applicant: 江苏森博传感技术有限公司
IPC: G01L21/00
Abstract: 一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器，涉及微机电系统（MEMS）传感器和真空传感器制造领域，包括上极板、下极板、中间绝缘层、真空腔以及上下极板上的电引线焊盘，真空腔是上极板与中间绝缘层间、或者上极板、中间绝缘层与下极板间形成的密封腔，真空腔内设计有绝缘支撑柱阵列，所述绝缘支撑柱的顶端面与上极板间留有空隙。本发明能有效测量高真空度、覆盖真空度范围大、制作工艺简单，有效解决现有技术的微型电容薄膜传感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放气等问题。
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公开(公告)号：CN203811323U
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201420196540.7
申请日：2014-04-22
Applicant: 江苏森博传感技术有限公司
IPC: G01L21/00
Abstract: 一种基于微机电系统技术的硅电容真空传感器，涉及微机电系统（MEMS）传感器和真空传感器制造领域，包括上极板、下极板、中间绝缘层、真空腔以及上下极板上的电引线焊盘，真空腔是上极板与中间绝缘层间、或者上极板、中间绝缘层与下极板间形成的密封腔，真空腔内设计有绝缘支撑柱阵列，所述绝缘支撑柱的顶端面与上极板间留有空隙。本实用新型能有效测量高真空度、覆盖真空度范围大、制作工艺简单，有效解决现有技术的微型电容薄膜传感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放气等问题。
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公开(公告)号：CN203812800U
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201420196504.0
申请日：2014-04-22
Applicant: 江苏森博传感技术有限公司
IPC: H01H33/664 , H01H33/668
Abstract: 一种内置微型无线无源真空传感器的真空灭弧室，涉及输配电设备技术、真空技术和微机电传感器领域，包括真空灭弧室本体、无线无源真空传感器，微型无线无源真空传感器置于真空灭弧室本体内。所述的微型无线无源真空传感器与真空灭弧室本体外部的真空检测与预警装置无线信号连接，具有真空灭弧室真空度在线实时、直接监测，不改变现有真空灭弧室结构和制造工艺，安全、经济、维护方便、监测精度高的优点。
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