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公开(公告)号：CN222507585U
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202421205501.9
申请日：2024-05-29
Applicant: 江南大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 本实用新型涉及一种晶圆双臂搬运装置，属于晶圆搬运机器人技术领域。本实用新型通过设置升降机构与多个可旋转的执行臂组合，以形成多臂且空间活动自由的晶圆搬运装置，不仅能够控制纵向上的移动，而且还能够在水平面内将晶圆进行自由旋转和翻转，提高了空间利用效率。其中，升降装置设置中心齿轮及行星齿轮的啮合结构，有效降低了降低电机所输出速度，使得升降距离更为精准；而旋转机构设置蜗轮、蜗杆、内啮合齿轮和外齿轮的结合，有效实现了降速传动。
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