公开(公告)号：CN102672298A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210103296.0

申请日：2012-02-09

申请人： 气体产品与化学公司

发明人： 董春 ,  R·A·西明斯基

IPC分类号： B23K1/20 ,  H05K3/34

CPC分类号： B23K1/203 ,  B01J19/088 ,  B23K35/38 ,  C23G5/024 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明描述了通过电子附着去除部件表面上金属氧化物的方法和装置。一个实施方案中，提供了一种场发射装置，其中电子附着于至少一部分还原气体，形成带负电的原子离子，这些离子去除金属氧化物，该场发射装置包括：阴极，所述阴极包括导电材料并包括至少一个或多个具有大表面曲率的突起，其中阴极被介电材料围绕，介电材料则被导电阳极围绕，其中阴极和阳极各自连接电压源，且阴极和阳极之间的介电材料被极化，以在阴极的一个或多个突起处提供电场，从而从阴极产生电子。

公开(公告)号：CN102672298B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201210103296.0

申请日：2012-02-09

申请人： 气体产品与化学公司

发明人： 董春 ,  R·A·西明斯基

IPC分类号： B23K1/20 ,  H05K3/34

CPC分类号： B23K1/203 ,  B01J19/088 ,  B23K35/38 ,  C23G5/024 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 本发明描述了通过电子附着去除部件表面上金属氧化物的方法和装置。一个实施方案中，提供了一种场发射装置，其中电子附着于至少一部分还原气体，形成带负电的原子离子，这些离子去除金属氧化物，该场发射装置包括：阴极，所述阴极包括导电材料并包括至少一个或多个具有大表面曲率的突起，其中阴极被介电材料围绕，介电材料则被导电阳极围绕，其中阴极和阳极各自连接电压源，且阴极和阳极之间的介电材料被极化，以在阴极的一个或多个突起处提供电场，从而从阴极产生电子。