公开(公告)号：CN109541259A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201811478990.4

申请日：2018-12-05

Applicant: 武汉大学

Inventor： 徐沁文 ,  张一 ,  蔡耀 ,  谢英 ,  孙成亮

IPC: G01P15/093

CPC classification number: G01P15/093

Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的光学式加速度传感器及其制备方法，光学式加速度传感器从下往上依次包括衬底、振动顶层、振动块和光学敏感元件，本发明首先在衬底上刻蚀出空腔，然后在空腔内填充牺牲层，之后在衬底上沉积振动顶层，在振动顶层上沉积振动块，然后在振动顶层上刻蚀释放孔，通过释放孔将牺牲层腐蚀掉形成振动空腔。本发明灵敏度高，光在光导中的能量损耗较低，该传感器具有较高的品质因子。本发明的加速度传感器还具有能与CMOS工艺兼容、体积小等优点。

公开(公告)号：CN110231095A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910433612.2

申请日：2019-05-23

Applicant: 武汉大学

Inventor： 孙成亮 ,  蔡耀 ,  张一 ,  邹杨 ,  谢英 ,  刘炎 ,  朱伟

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种等离激元声表面波谐振红外传感器，包括声表面波谐振器和纳米金属阵列；声表面波谐振器包括输入端叉指电极、输出端叉指电极、压电薄膜和基底；纳米金属阵列位于声表面波谐振器敏感区域，生长在压电薄膜上。所述等离激元声表面波谐振器红外传感器通过纳米金属阵列的等离激元效应增强对红外辐射的吸收，微量的红外辐射可以产生较大的能量聚集，使声表面波谐振器敏感区域温度升高，压电薄膜材料参数发生变化，造成沿压电薄膜表面传播的声波振动发生变化，叉指电极输出的电信号频率发生漂移，通过测试电信号变化来反映红外辐射信号。本发明尺寸较小、制备简单、灵敏度高，能够有效实现红外辐射探测。

公开(公告)号：CN110231263A

公开(公告)日：2019-09-13

申请号：CN201910433998.7

申请日：2019-05-23

Applicant: 武汉大学

Inventor： 孙成亮 ,  蔡耀 ,  朱伟 ,  邹杨 ,  刘炎 ,  周杰 ,  张一

IPC: G01N15/06

Abstract: 本发明公开了一种具有自清洁功能的PM2.5质量传感器及其制备方法，所述的PM2.5质量传感器包括声表面波器件和纳米柱阵列；声表面波器件由一对低谐振频率叉指电极、一对高谐振频率叉指电极、压电薄膜、基底组成；纳米柱阵列生长在压电薄膜上，位于两对叉指电极的对称中心区域。本发明的具有自清洁功能的PM2.5质量传感器通过纳米柱阵列吸附环境空气中的PM2.5颗粒，使低谐振频率叉指电极输出的电信号频率发生漂移来监测PM2.5的浓度；通过高谐振频率叉指电极来实现传感器的自清洁功能。本发明操作简单，能够方便、精确、经济的实现各种环境下PM2.5颗粒浓度的监测。

公开(公告)号：CN109541259B

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201811478990.4

申请日：2018-12-05

Applicant: 武汉大学

Inventor： 徐沁文 ,  张一 ,  蔡耀 ,  谢英 ,  孙成亮

IPC: G01P15/093

Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的光学式加速度传感器及其制备方法，光学式加速度传感器从下往上依次包括衬底、振动顶层、振动块和光学敏感元件，本发明首先在衬底上刻蚀出空腔，然后在空腔内填充牺牲层，之后在衬底上沉积振动顶层，在振动顶层上沉积振动块，然后在振动顶层上刻蚀释放孔，通过释放孔将牺牲层腐蚀掉形成振动空腔。本发明灵敏度高，光在光导中的能量损耗较低，该传感器具有较高的品质因子。本发明的加速度传感器还具有能与CMOS工艺兼容、体积小等优点。

公开(公告)号：CN110231263B

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN201910433998.7

申请日：2019-05-23

Applicant: 武汉大学

Inventor： 孙成亮 ,  蔡耀 ,  朱伟 ,  邹杨 ,  刘炎 ,  周杰 ,  张一

IPC: G01N15/06

Abstract: 本发明公开了一种具有自清洁功能的PM2.5质量传感器及其制备方法，所述的PM2.5质量传感器包括声表面波器件和纳米柱阵列；声表面波器件由一对低谐振频率叉指电极、一对高谐振频率叉指电极、压电薄膜、基底组成；纳米柱阵列生长在压电薄膜上，位于两对叉指电极的对称中心区域。本发明的具有自清洁功能的PM2.5质量传感器通过纳米柱阵列吸附环境空气中的PM2.5颗粒，使低谐振频率叉指电极输出的电信号频率发生漂移来监测PM2.5的浓度；通过高谐振频率叉指电极来实现传感器的自清洁功能。本发明操作简单，能够方便、精确、经济的实现各种环境下PM2.5颗粒浓度的监测。

公开(公告)号：CN109253836A

公开(公告)日：2019-01-22

申请号：CN201811218036.1

申请日：2018-10-18

Applicant: 武汉大学

Inventor： 张一 ,  徐沁文 ,  孙成亮

IPC: G01L21/00

Abstract: 本发明涉及气压传感器领域，特别是涉及一种高灵敏度、小体积的微环光学真空计。本发明一种微环光学真空计，包括敏感元件；所述敏感元件包括Si片衬底，所述Si片衬底内部设置有空腔，所述空腔为真空腔或不同气压值空腔；所述Si片衬底表面由下至上依次沉积一层SiO2和一层Si，从而形成SOI材料，所述SOI材料上表面沉积有一层光导材料，所述光导材料刻蚀后形成耦合光导，所述耦合光导为直线光导和环形光导；当所述敏感元件放入被检测环境时，所述空腔与被检测环境形成压强差。