公开(公告)号：CN110274649A

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201910509847.5

申请日：2019-06-13

Applicant: 武汉大学

Inventor： 赵福云 ,  喻可 ,  常晨 ,  汪维伟 ,  陈硕

IPC: G01F1/692 ,  G01F1/684

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的热温差型流量传感器及其制备方法，该传感器包括：热敏元件，导热硅脂，绝热隔板，电热丝，耐高温管；耐高温管的中心设有容线层、安装层与流体通道；电热丝布置在安装层下表面上，两个热敏元件固定在流体通道下表面上；层壁面上设有引线孔，热敏元件和电热丝的引线穿过引线孔，同时确保容线层固定；本发明的热温差型流量传感器的特点是可调整灵敏度与流速测量量程，提高了现有的热式流量传感器的精度，解决了传感器无法在高温高压环境下完成精确测量的问题；该MEMS热温差型流量传感器结构灵活、成本较低、检测结果精度高，并集合了电热丝及相关热敏元件，能够有效应用于高温高压的极端复杂的测量环境。

公开(公告)号：CN110274649B

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN201910509847.5

申请日：2019-06-13

Applicant: 武汉大学

Inventor： 赵福云 ,  喻可 ,  常晨 ,  汪维伟 ,  陈硕

IPC: G01F1/692 ,  G01F1/684

Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS技术的热温差型流量传感器及其制备方法，该传感器包括：热敏元件，导热硅脂，绝热隔板，电热丝，耐高温管；耐高温管的中心设有容线层、安装层与流体通道；电热丝布置在安装层下表面上，两个热敏元件固定在流体通道下表面上；层壁面上设有引线孔，热敏元件和电热丝的引线穿过引线孔，同时确保容线层固定；本发明的热温差型流量传感器的特点是可调整灵敏度与流速测量量程，提高了现有的热式流量传感器的精度，解决了传感器无法在高温高压环境下完成精确测量的问题；该MEMS热温差型流量传感器结构灵活、成本较低、检测结果精度高，并集合了电热丝及相关热敏元件，能够有效应用于高温高压的极端复杂的测量环境。