公开(公告)号：CN114130636B

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202111406482.7

申请日：2021-11-24

Applicant: 武汉大学

Inventor： 吴国强 ,  姚运昕 ,  贾利成 ,  肖宇豪

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明属于压电式超声换能器技术，具体涉及一种压电式MEMS超声换能器，换能器单元包括带有空腔的衬底硅片和换能器结构层，换能器结构层位于衬底硅片上方并与衬底硅片固定结合，使衬底空腔形成密封腔室；换能器结构层从下到上依次由氧化硅层、硅结构层、电介质层、底电极层、压电材料层、顶电极层、顶电介质层和电气连接层堆叠组成；底电极层和顶电极层至少一层以换能器单元几何中心作为原点由内向外依次排布内电极、屏蔽电极和外电极。该换能器通过屏蔽电极接地或悬空电位，使内外电极产生电学隔离，减小了电学串扰，降低了换能器的寄生电容，提高了换能器的接收/发射灵敏度，结构简单、灵敏度高。

公开(公告)号：CN114130636A

公开(公告)日：2022-03-04

申请号：CN202111406482.7

申请日：2021-11-24

Applicant: 武汉大学

Inventor： 吴国强 ,  姚运昕 ,  贾利成 ,  肖宇豪

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明属于压电式超声换能器技术，具体涉及一种压电式MEMS超声换能器，换能器单元包括带有空腔的衬底硅片和换能器结构层，换能器结构层位于衬底硅片上方并与衬底硅片固定结合，使衬底空腔形成密封腔室；换能器结构层从下到上依次由氧化硅层、硅结构层、电介质层、底电极层、压电材料层、顶电极层、顶电介质层和电气连接层堆叠组成；底电极层和顶电极层至少一层以换能器单元几何中心作为原点由内向外依次排布内电极、屏蔽电极和外电极。该换能器通过屏蔽电极接地或悬空电位，使内外电极产生电学隔离，减小了电学串扰，降低了换能器的寄生电容，提高了换能器的接收/发射灵敏度，结构简单、灵敏度高。