公开(公告)号：CN102246407B

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN200980149184.5

申请日：2009-11-12

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 正木达章 ,  樱井显治 ,  铃木雄二

IPC: H02N1/00 ,  H01G7/02

CPC classification number: H01G7/02 ,  H02N1/08

Abstract: 在固定基板(22)的上表面平行排列有呈长方形形状的多个基电极(27)，在各基电极(27)上方分别形成有驻极体(28)。驻极体(28)的宽度比基电极(27)的宽度宽，驻极体(28)覆盖基电极(27)的露出面。与固定基板(22)的设有驻极体(28)等的面对置地平行配置有可动基板(23)，可动基板(23)能相对于固定基板(22)移动。在可动基板(23)的对置面上，与基电极(27)对置地分别形成长方形形状的对置电极(32)。

公开(公告)号：CN102246407A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980149184.5

申请日：2009-11-12

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 正木达章 ,  樱井显治 ,  铃木雄二

IPC: H02N1/00 ,  H01G7/02

CPC classification number: H01G7/02 ,  H02N1/08

Abstract: 在固定基板(22)的上表面平行排列有呈长方形形状的多个基电极(27)，在各基电极(27)上方分别形成有驻极体(28)。驻极体(28)的宽度比基电极(27)的宽度宽，驻极体(28)覆盖基电极(27)的露出面。与固定基板(22)的设有驻极体(28)等的面对置地平行配置有可动基板(23)，可动基板(23)能相对于固定基板(22)移动。在可动基板(23)的对置面上，与基电极(27)对置地分别形成长方形形状的对置电极(32)。