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发明公开
检查方法以及检查系统无效

公开(公告)号：CN111065913A

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201880056800.1

申请日：2018-09-05

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 日高佳久 , 松野玄 , 竹泽茂 , 田中秀子 , 佐久间香织 , 村田明弘 , 大原寿树

IPC: G01N21/359 , G01N21/3504 , G01N21/3577

Abstract: 本发明提供一种分析装置的检查方法，所述分析装置使用通过探针的光进行分析，所述探针安装于管道使光路的一部分通过壳体的外部且配置在作为分析对象的第1流体流过的所述管道的内部，所述分析装置的检查方法具有：第1过程，在将所述光的吸收少于所述第1流体的第2流体导入到所述管道的状态下，将吸收特性已知的第3流体导入到所述探针的壳体的内部；以及第2过程，使用通过所述探针的光进行所述第3流体的吸收特性的分析。

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