一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法

    公开(公告)号:CN106181025B

    公开(公告)日:2018-01-23

    申请号:CN201610752455.8

    申请日:2016-08-29

    Abstract: 本发明为一种激光刻蚀的上下振动辅助装置及使用方法,本装置激光刻蚀工作台上固定支撑箱体,固定于推杆顶端的托板夹具固定工件。与凸轮电机连接的凸轮轴与推杆垂直,套在推杆外的弹簧上端与支撑箱体固连,下端固连推杆底端,使推杆底端抵于凸轮侧面。固定于支撑箱体的凸轮轴轴套上安装位置传感器。凸轮长短径的差为激光刻蚀的最大深度。本使用方法加工开始激光聚焦于工件表面,控制中心据位置传感器信号掌握凸轮当前状态,控制电机,使凸轮短长径侧面轮流与推杆底端接触,工件随工作台沿切削路径步进,同时上下振动,激光束在工件上的烧蚀点始终处于激光聚焦的位置。振动还加速切槽中的残渣碎屑的排出,带走大量的热,提高激光刻蚀效率和质量。

    一种水下激光加工系统的液膜控制装置及使用方法

    公开(公告)号:CN105171237A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510542771.8

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 本发明为一种水下激光加工系统的液膜控制装置及使用方法。本装置底面密封固定玻璃板的回形框位于工作台上方。回形框各外侧面有2个上、下臂成曲尺形的支撑夹,上臂铰接于回形框外侧面,同侧下臂末端连接支撑板。上臂与回形框间的扭转弹簧将支撑板抵于工作台侧面、支撑回形框。至少3个调节螺栓贯穿回形框、底端外伸。使用方法为,回形框悬于工作台上方,调节螺栓上下运动,调节玻璃板底面与工件上表面的间距、即液膜厚度,水流注入此间隙成液膜,激光穿过回形框、玻璃板和液膜聚焦于工件加工。本发明中工件上方的液膜厚度均匀不变,水流冷却工件并冲走加工产生的切屑和气泡,保证激光加工的质量和效率。

    一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置及使用方法

    公开(公告)号:CN104588872A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201510025283.X

    申请日:2015-01-19

    CPC classification number: B23K26/38

    Abstract: 本发明为一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置及使用方法,盛放溶液的工作腔有内外侧壁,分为内外腔,水泵经进水管连接内侧壁、与内腔相通,排水管连接外侧壁、与外腔相通。工作台置于内腔。排水管内径等于或大于进水管内径d,进排水管靠近工作腔的底面。内腔内径D=(10~20)d。内外侧壁有间距。进水管上接有调节阀和/或流量计。溶液为水或乙醇、甘油、氢氧化钾等溶液中的一种。使用方法为水泵将溶液以一定入流速度送入内腔;液面上升溢出内腔进入外腔,由排水管排出,在工件表面形成稳定定向流动的液膜,快速平复溶液扰动;清澈均匀稳定的液膜减少激光的反射和折射,提高加工效率和质量;溢流层带走熔渣碎屑和热,改善激光加工的质量。

    一种自聚焦激光加工装置

    公开(公告)号:CN106312302B

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201610951930.4

    申请日:2016-10-27

    Abstract: 本发明为一种自聚焦激光加工装置,夹持机构在透镜和工作台之间固定一个盛放非线性介质的容器。激光束经透镜聚焦于非线性介质的表面,透镜聚焦后的光束进入非线性介质其中传递产生自聚焦,经透镜和非线性介质的两次聚焦,离开容器的激光束直径极小,直线传播到达工件表面。容器内非线性介质的深度,即自聚焦距离L与激光束的能量及所采用的非线性介质的折射率有关。还配有水射流辅助装置,工件表面激光聚焦点和射流喷射点中心重合。在工件表面水射流的冲击带走激光去除的残渣和热量。透镜聚焦与自聚焦相结合,减少激光束直径近一半,提高激光束能量密度。自聚焦后激光准直传递,发散角小,有利纵深刻蚀,增加加工的深度,保证刻蚀精度效率。

    一种水下激光加工系统的液膜控制装置及使用方法

    公开(公告)号:CN105171237B

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201510542771.8

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 本发明为一种水下激光加工系统的液膜控制装置及使用方法。本装置底面密封固定玻璃板的回形框位于工作台上方。回形框各外侧面有2个上、下臂成曲尺形的支撑夹,上臂铰接于回形框外侧面,同侧下臂末端连接支撑板。上臂与回形框间的扭转弹簧将支撑板抵于工作台侧面、支撑回形框。至少3个调节螺栓贯穿回形框、底端外伸。使用方法为,回形框悬于工作台上方,调节螺栓上下运动,调节玻璃板底面与工件上表面的间距、即液膜厚度,水流注入此间隙成液膜,激光穿过回形框、玻璃板和液膜聚焦于工件加工。本发明中工件上方的液膜厚度均匀不变,水流冷却工件并冲走加工产生的切屑和气泡,保证激光加工的质量和效率。

    一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置及使用方法

    公开(公告)号:CN104588872B

    公开(公告)日:2017-04-19

    申请号:CN201510025283.X

    申请日:2015-01-19

    Abstract: 本发明为一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置及使用方法,盛放溶液的工作腔有内外侧壁,分为内外腔,水泵经进水管连接内侧壁、与内腔相通,排水管连接外侧壁、与外腔相通。工作台置于内腔。排水管内径等于或大于进水管内径d,进排水管靠近工作腔的底面。内腔内径D=(10~20)d。内外侧壁有间距。进水管上接有调节阀和/或流量计。溶液为水或乙醇、甘油、氢氧化钾等溶液中的一种。使用方法为水泵将溶液以一定入流速度送入内腔;液面上升溢出内腔进入外腔,由排水管排出,在工件表面形成稳定定向流动的液膜,快速平复溶液扰动;清澈均匀稳定的液膜减少激光的反射和折射,提高加工效率和质量;溢流层带走熔渣碎屑和热,改善激光加工的质量。

    一种自聚焦激光加工装置

    公开(公告)号:CN106312302A

    公开(公告)日:2017-01-11

    申请号:CN201610951930.4

    申请日:2016-10-27

    CPC classification number: B23K26/046 B23K26/06 B23K26/146 B23K26/362

    Abstract: 本发明为一种自聚焦激光加工装置,夹持机构在透镜和工作台之间固定一个盛放非线性介质的容器。激光束经透镜聚焦于非线性介质的表面,透镜聚焦后的光束进入非线性介质其中传递产生自聚焦,经透镜和非线性介质的两次聚焦,离开容器的激光束直径极小,直线传播到达工件表面。容器内非线性介质的深度,即自聚焦距离L与激光束的能量及所采用的非线性介质的折射率有关。还配有水射流辅助装置,工件表面激光聚焦点和射流喷射点中心重合。在工件表面水射流的冲击带走激光去除的残渣和热量。透镜聚焦与自聚焦相结合,减少激光束直径近一半,提高激光束能量密度。自聚焦后激光准直传递,发散角小,有利纵深刻蚀,增加加工的深度,保证刻蚀精度效率。

    一种水下激光加工的液层稳定装置

    公开(公告)号:CN205290092U

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201521051987.6

    申请日:2015-12-16

    Abstract: 本实用新型为一种水下激光加工的液层稳定装置,工件水槽顶面有开口,水平玻璃板覆盖于顶面开口,位于工件水槽内的顶面固定工件的工作台处于顶面开口下方。进、出水口的上缘与工件水槽顶面相切。进水在玻璃板底面和工件的上表面之间形成流动的液层。工作台为可调节升降工作台,以调节液层厚度。储水罐的底面与进水口的下缘处于同一水平面上,进水管与之连通,储水罐的容积大于工件水槽容积。玻璃板可推移至工件水槽顶面的一侧,以露出顶面开口,方便工件装卸。出水管经过滤器接入回收水槽,后者的泵将水回接储水罐。本装置玻璃板使液层稳定可调,提高激光加工质量;储水罐水面高度调控节液层水流速度,方便选择确定激光加工的参数。

    一种水下激光加工系统的液膜控制装置

    公开(公告)号:CN204954165U

    公开(公告)日:2016-01-13

    申请号:CN201520663829.X

    申请日:2015-08-31

    Abstract: 本实用新型为一种水下激光加工系统的液膜控制装置。本装置底面密封固定玻璃板的回形框位于工作台上方。回形框各外侧面有2个上、下臂成曲尺形的支撑夹,上臂铰接于回形框外侧面,同侧下臂末端连接支撑板。上臂与回形框间的扭转弹簧将支撑板抵于工作台侧面、支撑回形框。至少3个调节螺栓贯穿回形框、底端外伸。使用时回形框悬于工作台上方,调节螺栓上下运动,调节玻璃板底面与工件上表面的间距、即液膜厚度,水流注入此间隙成液膜,激光穿过回形框、玻璃板和液膜聚焦于工件加工。本实用新型中工件上方的液膜厚度均匀不变,水流冷却工件并冲走加工产生的切屑和气泡,保证激光加工的质量和效率。

    一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置

    公开(公告)号:CN204430560U

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201520034991.5

    申请日:2015-01-19

    Abstract: 本实用新型为一种溶液辅助激光加工系统的溢流装置,盛放溶液的工作腔有内、外侧壁,分为内、外两腔,水泵经进水管连接内侧壁、与内腔相通,排水管连接外侧壁、与外腔相通。工作台置于内腔。排水管内径等于或大于进水管内径d,进排水管靠近工作腔的底面。d=10~20mm,内腔内径D=(10~20)d。内、外侧壁的间距为10~30mm。进水管上接有调节阀和/或流量计。溶液为水或乙醇、甘油、氢氧化钾等溶液中的任意一种。水泵将溶液送入内腔;液面上升溢出内腔进入外腔,由排水管排出,在工件表面形成稳定定向流动的液膜,快速平复溶液扰动;清澈均匀稳定的液膜减少激光的反射和折射,提高加工效率和质量;溢流层带走熔渣碎屑和热,改善激光加工的质量。

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