公开(公告)号：CN103926257A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201410170968.9

申请日：2014-04-25

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 张文涛 ,  周龙 ,  胡放荣 ,  熊显名 ,  朱志斌 ,  朱保华 ,  汪杰君 ,  蒋曲博

IPC: G01N21/958 ,  G01N21/55 ,  G01N21/59

Abstract: 本发明为一种基于太赫兹时域光谱仪的镜片缺陷的检测方法，利用太赫兹时域光谱仪对镜片进行逐行扫描，获得镜片每个扫描点的反射系数S11和透射系数S21，由此计算得到各个扫描点的吸收率，分析各点吸收率，吸收率与正常不同的点为镜片缺陷点，所测镜片最大曲率为0.011/mm，镜片厚度为2～6mm。具体步骤为被测弯月透镜镜片的弧面与反射背景板相切，且镜片中轴线与反射背景板垂直；平镜镜片与反射背景板紧贴；太赫兹时域光谱仪对镜片逐行扫描，纵向步进和横向步进均为1～1.4mm。比较各点吸收率，与正常吸收率的差值大于设定值δ的扫描点，判断为缺陷点，本发明能够准确地检测镜片的微小的缺陷并且定位，检出率高，检测快捷，不受检测人员经验和状态的影响。