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公开(公告)号：CN110475076A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910768225.4
申请日：2019-08-20
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于FPGA的多光源曝光控制器及方法，基于FPGA的多光源曝光控制器包括多光源曝光控制模块和系统控制模块，系统控制模块用于接收相机传输的图像信息，同时通过串口通讯向串口通讯单元发送数值序列；外触发输入单元用于隔离输入系统控制模块的触发信号；FPGA处理单元用于接收外触发输入单元发送的触发信号和通过串口通讯单元发送的数值序列进行比较处理，向多光源触发单元发送光源触发信号；多光源触发单元用于将FPGA处理单元输出的光源触发信号输出至至少两个光源控制器，同时进行隔离。满足多光源曝光检测技术对多场景多组合光源控制的需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110096035B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201910396835.6
申请日：2019-05-14
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 本发明提出一种基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统，包括系统控制卡、运动控制卡、数据采集控制卡、光栅信号处理卡、多通道数模转换控制器、运动台环境信息采集卡、电机驱动器、电涡流采集板、传感器信息采集板、光栅尺读数头和上位机。本发明采用Open VPX支持VITA66.4光互连背板总线协议，采用的光纤连接器支持多通道光纤互连，单通道的数据传输速率可达14Gbps，采用光互连背板总线进行数据传输，可以满足高端光刻机运动台同步控制系统不断提升的高伺服频率，大数据量和高实时性的要求。
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公开(公告)号：CN110096035A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910396835.6
申请日：2019-05-14
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 本发明提出一种基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统，包括系统控制卡、运动控制卡、数据采集控制卡、光栅信号处理卡、多通道数模转换控制器、运动台环境信息采集卡、电机驱动器、电涡流采集板、传感器信息采集板、光栅尺读数头和上位机。本发明采用Open VPX支持VITA66.4光互连背板总线协议，采用的光纤连接器支持多通道光纤互连，单通道的数据传输速率可达14Gbps，采用光互连背板总线进行数据传输，可以满足高端光刻机运动台同步控制系统不断提升的高伺服频率，大数据量和高实时性的要求。
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公开(公告)号：CN110475076B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201910768225.4
申请日：2019-08-20
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于FPGA的多光源曝光控制器及方法，基于FPGA的多光源曝光控制器包括多光源曝光控制模块和系统控制模块，系统控制模块用于接收相机传输的图像信息，同时通过串口通讯向串口通讯单元发送数值序列；外触发输入单元用于隔离输入系统控制模块的触发信号；FPGA处理单元用于接收外触发输入单元发送的触发信号和通过串口通讯单元发送的数值序列进行比较处理，向多光源触发单元发送光源触发信号；多光源触发单元用于将FPGA处理单元输出的光源触发信号输出至至少两个光源控制器，同时进行隔离。满足多光源曝光检测技术对多场景多组合光源控制的需求。
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公开(公告)号：CN110543118B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201910799632.1
申请日：2019-08-28
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种带触发监控的通用FPGA同步触发控制器及方法，包括同步触发控制模组、相机模组、系统控制模组和步进控制模组，系统控制模组，用于接收相机模组传输的图像信息，发送设置参数和接收报错信息并进行处理；同步触发控制模组，用于接收设置参数，并根据设置参数同步工作状态和接收步进运动到位触发信号，开启触发监控；步进控制模组，用于步进完成后输出步进运动到位触发信号至同步触发控制模组；相机模组，用于接收同步触发信号，控制相机同步采集测量点的信息，同时将图片信息发送至系统控制模组。实现对步进测量系统中同步触发控制器触发信号输入输出的监控，同时提升了步进测量系统的稳定性和智能性。
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公开(公告)号：CN110543118A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910799632.1
申请日：2019-08-28
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种带触发监控的通用FPGA同步触发控制器及方法，包括同步触发控制模组、相机模组、系统控制模组和步进控制模组，系统控制模组，用于接收相机模组传输的图像信息，发送设置参数和接收报错信息并进行处理；同步触发控制模组，用于接收设置参数，并根据设置参数同步工作状态和接收步进运动到位触发信号，开启触发监控；步进控制模组，用于步进完成后输出步进运动到位触发信号至同步触发控制模组；相机模组，用于接收同步触发信号，控制相机同步采集测量点的信息，同时将图片信息发送至系统控制模组。实现对步进测量系统中同步触发控制器触发信号输入输出的监控，同时提升了步进测量系统的稳定性和智能性。
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