公开(公告)号：CN114192093A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202111340685.0

申请日：2021-11-12

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 聂林 ,  龚少博 ,  王华杰 ,  赵伟 ,  柯锐 ,  侯和爽 ,  刘灏 ,  许敏 ,  王占辉

IPC: B01J19/12 ,  B01J19/02

Abstract: 本发明属于等离子体化学反应技术领域，具体涉及一种耐腐蚀的等离子体化学反应装置，采用微波直接激发等离子促进化学反应，可适用于氟气、四氟化碳等电离后具有强氧化性和腐蚀性的气他，且本方案无需高电压，具有较高的安全性。

公开(公告)号：CN114192093B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202111340685.0

申请日：2021-11-12

Applicant: 核工业西南物理研究院

Inventor： 聂林 ,  龚少博 ,  王华杰 ,  赵伟 ,  柯锐 ,  侯和爽 ,  刘灏 ,  许敏 ,  王占辉

IPC: B01J19/12 ,  B01J19/02

Abstract: 本发明属于等离子体化学反应技术领域，具体涉及一种耐腐蚀的等离子体化学反应装置，采用微波直接激发等离子促进化学反应，可适用于氟气、四氟化碳等电离后具有强氧化性和腐蚀性的气他，且本方案无需高电压，具有较高的安全性。