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发明公开
一种四（三氟膦）镍气体热分解温度的确定系统及方法审中-实审

公开(公告)号：CN118817753A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410853779.5

申请日：2024-06-28

Applicant: 核工业理化工程研究院

Inventor： 王绪泽 , 刘东鹏 , 杨启凡 , 豆丹丹 , 肖初

IPC: G01N25/12

Abstract: 本发明提供一种四(三氟膦)镍气体热分解温度的确定系统及方法，属于分析测量技术领域，其中，所述系统包括：进料罐，用于提供四(三氟膦)镍气体；与进料罐连通的反应装置，用于按照预设反应条件分解四(三氟膦)镍气体；与反应装置连通的收集罐，用于收集分解产生的三氟化磷气体；与收集罐连通设置的抽真空装置，用于对整个系统进行抽真空；设置于反应装置上的信息采集装置，用于实时采集在反应过程中反应装置内部的状态信息；与信息采集装置通信连接的上位机，用于根据信息采集装置采集到的状态信息，确定反应装置内四(三氟膦)镍气体的热分解温度。本发明的方案可以实现四(三氟膦)镍气体热分解温度的实时在线测量以及测量时的安全性。

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