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公开(公告)号：CN115968413A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202180051514.8
申请日：2021-11-17
Applicant: 株式会社LG化学
Inventor： 郑光振 , 申喜英 , 金载镒 , 李俊永
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明涉及一种用于有机发光二极管的沉积设备，并且更具体地，涉及一种其中借助于辅助室独立地执行沉积材料的维护操作并且因此减少用于沉积材料的评估时间的用于有机发光二极管的沉积设备。
