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公开(公告)号：CN102884479A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201180022571.X
申请日：2011-05-03
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0384 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/30 , G03F7/38 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及一种负性光致抗蚀剂组合物，其表现出优异的灵敏度并能形成令人满意的具有倒锥形的光致抗蚀剂图案，从而可在器件制造过程中有效地图案化各种薄膜，并能在图案化后容易地移除，以及涉及一种图案化器件的方法。光致抗蚀剂组合物包括：碱溶性粘合剂树脂；含卤素的第一光生酸剂；基于三嗪的第二光生酸剂；含有烷氧基结构的交联剂；和溶剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102884479B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201180022571.X
申请日：2011-05-03
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0384 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/30 , G03F7/38 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及一种负性光致抗蚀剂组合物，其表现出优异的灵敏度并能形成令人满意的具有倒锥形的光致抗蚀剂图案，从而可在器件制造过程中有效地图案化各种薄膜，并能在图案化后容易地移除，以及涉及一种图案化器件的方法。光致抗蚀剂组合物包括：碱溶性粘合剂树脂；含卤素的第一光生酸剂；基于三嗪的第二光生酸剂；含有烷氧基结构的交联剂；和溶剂。
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公开(公告)号：CN102365314A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201080015504.0
申请日：2010-07-15
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/105 , C08G73/16 , C08L79/08 , G03F7/0048
Abstract: 本发明涉及一种如化学式所示的聚酰亚胺或其前驱物以及包含此聚酰亚胺或其前驱物的光敏树脂组合物。所述聚酰亚胺或其前驱物的特征在于其由包含聚环氧烷的二胺所制备。本发明的光敏树脂组合物具有优良的透光率、分辨率、以及光敏感性和影像形成特性，此外，具有与基板例如硅薄膜、硅氧化物薄膜、以及金属薄膜等的高黏着力。特别是，能够形成没有破损(如破裂)的优良薄膜。
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公开(公告)号：CN102893214B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180023554.8
申请日：2011-03-07
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: G03F7/0007 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/1082 , C09D179/08 , G03F7/0233 , H01B3/30 , H01B3/306
Abstract: 本发明公开了化学式1或化学式2表示的聚酰亚胺或其前体以及含有所述聚酰亚胺或其前体的光敏有机绝缘组合物。所述聚酰亚胺或其前体由包括聚环氧烷的二元胺制备。用于OLED器件时，使用该光敏有机绝缘组合物可以允许低温固化并且缩短固化时间，形成低的锥度角，并且实现高的敏感性和边缘无残留的膜。而且，由于所述光敏有机绝缘组合物作为正型光敏组合物且曝光部分具有优异的碱性溶液溶解度，可以使杂质的产生最少化。
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公开(公告)号：CN102365314B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201080015504.0
申请日：2010-07-15
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/105 , C08G73/16 , C08L79/08 , G03F7/0048
Abstract: 本发明涉及一种如化学式1或2所示的聚酰亚胺或其前驱物以及包含此聚酰亚胺或其前驱物的光敏树脂组合物。所述聚酰亚胺或其前驱物的特征在于其由包含聚环氧烷的二胺所制备。本发明的光敏树脂组合物具有优良的透光率、分辨率、以及光敏感性和影像形成特性，此外，具有与基板例如硅薄膜、硅氧化物薄膜、以及金属薄膜等的高黏着力。特别是，能够形成没有破损(如破裂)的优良薄膜。
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公开(公告)号：CN102893214A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201180023554.8
申请日：2011-03-07
Applicant: 株式会社LG化学
CPC classification number: G03F7/0007 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/1082 , C09D179/08 , G03F7/0233 , H01B3/30 , H01B3/306
Abstract: 本发明公开了化学式1或化学式2表示的聚酰亚胺或其前体以及含有所述聚酰亚胺或其前体的光敏有机绝缘组合物。所述聚酰亚胺或其前体由包括聚环氧烷的二元胺制备。用于OLED器件时，使用该光敏有机绝缘组合物可以允许低温固化并且缩短固化时间，形成低的锥度角，并且实现高的敏感性和边缘无残留的膜。而且，由于所述光敏有机绝缘组合物作为正型光敏组合物且曝光部分具有优异的碱性溶液溶解度，可以使杂质的产生最少化。
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