公开(公告)号：CN103237628B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201180060317.9

申请日：2011-12-14

Applicant: 株式会社IHI回转机械

Inventor： 高须干雄 ,  田中雅也 ,  上田弘明 ,  松下勉 ,  川渕真二

IPC: B24B27/06 ,  B24B55/03 ,  B28D5/04 ,  B28D7/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/007 ,  B24B27/0633 ,  B24B57/02 ,  Y02P70/179

Abstract: 具备：第1槽，承接浆料废液；离心分离机，将第1槽的浆料废液导入，将浆料分离；第2槽，承接来自离心分离机的含固态成分的浆料；浆料供给系统路径，将第2槽的浆料向固定磨粒线锯供给；控制器，根据装备在将第2槽的浆料取出并循环的循环流路上的比重计和粘度计的检测值，检测浆料浓度；浆料排出系统路径，将第2槽的浆料的一部分作为废浆料排出；新浆料供给系统路径，将新浆料向第2槽供给；进行通过浆料排出系统路径的废浆料的排出和通过新浆料供给系统路径的新浆料的供给，以使由控制器检测出的浆料浓度保持规定浓度。

公开(公告)号：CN103237628A

公开(公告)日：2013-08-07

申请号：CN201180060317.9

申请日：2011-12-14

Applicant: 株式会社IHI回转机械

Inventor： 高须干雄 ,  田中雅也 ,  上田弘明 ,  松下勉 ,  川渕真二

IPC: B24B27/06 ,  B24B55/03 ,  B28D5/04 ,  B28D7/02 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/007 ,  B24B27/0633 ,  B24B57/02 ,  Y02P70/179

Abstract: 具备：第1槽（5A），承接浆料废液（3）；离心分离机（14），将第1槽（5A）的浆料废液（3b）导入，将浆料（2）分离；第2槽（5B），承接来自离心分离机（14）的含固态成分的浆料（2）；浆料供给系统路径（26），将第2槽（5B）的浆料（2）向固定磨粒线锯（1）供给；控制器（41），根据装备在将第2槽（5B）的浆料（2）取出并循环的循环流路（28）上的比重计（29）和粘度计（30）的检测值，检测浆料浓度；浆料排出系统路径（33），将第2槽（5B）的浆料（2）的一部分作为废浆料（31）排出；新浆料供给系统路径（38），将新浆料（2a）向第2槽（5B）供给；进行通过浆料排出系统路径（33）的废浆料（31）的排出和通过新浆料供给系统路径（38）的新浆料（2a）的供给，以使由控制器（41）检测出的浆料浓度保持规定浓度。