公开(公告)号：CN1380447A

公开(公告)日：2002-11-20

申请号：CN02102704.8

申请日：2002-01-23

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  森勇藏

Inventor： 森勇藏 ,  白樫充彦 ,  当间康 ,  小畠严贵 ,  齐藤孝行

IPC: C25F1/02

Abstract: 一种电化学加工设备,包括:一个加工室,用来容纳超纯净水;一个阴极/阳极,浸在加工室内的超纯净水中;以及一个工件保持器,用来将工件保持在距离阴极/阳极的一个预定距离上,使工件的加工表面与超纯净水相接触。这种电化学加工设备还包括:一个阳极/阴极接触面,与被工件保持器所保持的工件相接触,从而,工件起阳极/阴极的作用;一种催化剂,具有强碱性阴离子交换功能或强酸性阳离子交换功能;一个电源,用来在阴极/阳极与工件之间施加一个电压;以及一个运动机构,用来使工件和催化剂实现相对运动。催化剂是设置在阴极/阳极与被工件保持器所保持的工件之间。

公开(公告)号：CN1313648C

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN02102704.8

申请日：2002-01-23

Applicant: 株式会社荏原制作所 ,  森勇藏

Inventor： 森勇藏 ,  白樫充彦 ,  当间康 ,  小畠严贵 ,  齐藤孝行

IPC: C25F1/06 ,  C25F1/04

Abstract: 一种电化学加工设备，包括：一个加工室，用来容纳超纯净水；一个阴极/阳极，浸在加工室内的超纯净水中；以及一个工件保持器，用来将工件保持在距离阴极/阳极的一个预定距离上，使工件的加工表面与超纯净水相接触。这种电化学加工设备还包括：一个阳极/阴极接触面，与被工件保持器所保持的工件相接触，从而，工件起阳极/阴极的作用；一种催化剂，具有强碱性阴离子交换功能或强酸性阳离子交换功能；一个电源，用来在阴极/阳极与工件之间施加一个电压；以及一个运动机构，用来使工件和催化剂实现相对运动。催化剂是设置在阴极/阳极与被工件保持器所保持的工件之间。