公开(公告)号：CN100514007C

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200610077837.1

申请日：2006-05-10

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 河岛浩康 ,  小神野宏明 ,  臼井克明 ,  中泽敏治

IPC: G01F1/24

CPC classification number: G01F1/28 ,  G01F1/22

Abstract: 本发明公开了一种流量计，其可以以高测量精度测量流体的小流量，尺寸小，可处理各种类型的试剂，且容易制造，成本低。所述流量计包括：壳体，其具有增大部分，并垂直布置；浮子，其封闭在所述壳体的增大部分中，且至少部分具有检测表面，所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推；以及至少一个位移传感器，其设置在壳体的增大部分的外面，用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。

公开(公告)号：CN1862236A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200610077837.1

申请日：2006-05-10

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 河岛浩康 ,  小神野宏明 ,  臼井克明 ,  中泽敏治

IPC: G01F1/24

CPC classification number: G01F1/28 ,  G01F1/22

Abstract: 本发明公开了一种流量计，其可以以高测量精度测量流体的小流量，尺寸小，可处理各种类型的试剂，且容易制造，成本低。所述流量计包括：壳体，其具有增大部分，并垂直布置；浮子，其封闭在所述壳体的增大部分中，且至少部分具有检测表面，所述检测表面从下面流过而进入壳体中以及向上流入壳体中的流体向上推；以及至少一个位移传感器，其设置在壳体的增大部分的外面，用于通过使浮子的检测表面磁化而检测浮子的轴向位移。