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公开(公告)号：CN110799677A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201880042704.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种用于保持基板的基板保持器，其具备：第1保持构件，其具有用于使上述基板的第1面暴露的第1开口部；第2保持构件，其用于与上述第1保持构件一起夹持并保持上述基板；以及第2保持构件，其具有用于使上述基板的第2面暴露的第2开口部，上述第1保持构件具有至少一个第1外部连接接点，上述第2保持构件具有与上述第1外部连接接点独立的至少一个第2外部连接接点。
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