公开(公告)号：CN1172319C

公开(公告)日：2004-10-20

申请号：CN00803618.7

申请日：2000-01-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 土居祥孝 ,  野本正雄 ,  林和昭 ,  井筒政弘 ,  影山喜治 ,  冈本恭一

IPC: G21K5/04 ,  B01D53/32

CPC classification number: G21K5/04 ,  B01D53/32 ,  B01D53/60 ,  B01D2259/812

Abstract: 一种用于把电子束照射到待处理物体如废气上并由此改变废气物理性质的电子束照射反应装置，其中，在环绕扫描管(12)端部的部分和电子束反应器件(18)侧壁内电子束接收窗口的周缘部分(18a)之间设置挠性圆柱密闭元件(23)，以便连接扫描管(12)和此侧壁并且密封此反应器件。结果，在此连接部分不产生过大的应力，而且不需要辅助金属窗口箔，待处理物体也不会泄漏到外面。

公开(公告)号：CN1340200A

公开(公告)日：2002-03-13

申请号：CN00803618.7

申请日：2000-01-11

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 土居祥孝 ,  野本正雄 ,  林和昭 ,  井筒政弘 ,  影山喜治 ,  冈本恭一

IPC: G21K5/00 ,  G21K5/04 ,  B01D53/32 ,  B01D53/60

CPC classification number: G21K5/04 ,  B01D53/32 ,  B01D53/60 ,  B01D2259/812

Abstract: 一种用于把电子束照射到待处理物体如废气上并由此改变废气物理性质的电子束照射反应装置,其中,在环绕扫描管(12)端部的部分和电子束反应器件(18)侧壁内电子束接收窗口的周缘部分(18a)之间设置挠性圆柱密闭元件(23),以便连接扫描管(12)和此侧壁并且密封此反应器件。结果,在此连接部分不产生过大的应力,而且不需要辅助金属窗口箔,待处理物体也不会泄漏到外面。