公开(公告)号：CN1167079C

公开(公告)日：2004-09-15

申请号：CN00109037.2

申请日：2000-06-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村淳 ,  吉冈毅 ,  木我昌宏

IPC: G21K5/00

CPC classification number: G21K5/04

Abstract: 一种电子束照射装置，包括一使从一电子束源发出的电子加速而照射一目标的电子加速器和一向该电子加速器供应高压直流电的电源。该电源包括：一把一工业用AC电源输出转变成电压可变的一AC电力输出的变频装置；一DC电源，该DC电源使该变频装置的AC电力输出升压、把升压后电压整流成DC高压、然后把该DC高压加到电子加速器上；以及一反馈控制电路，该反馈控制电路检测DC高压和一电流，从而控制该变频装置的电力输出。

公开(公告)号：CN1209788C

公开(公告)日：2005-07-06

申请号：CN01800867.4

申请日：2001-04-12

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 木我昌宏 ,  中村淳

IPC: H01J33/00

CPC classification number: H01J33/00 ,  H01J33/02

Abstract: 一种用于电子束辐射的方法和设备(11)，其中，三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17)，以在第一扫描方向(Y)上移动电子束；方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16)，以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束；三角波发生器提供的三角波电流被调制，以消除扫描线圈的磁滞效应。此外，相对于三角波电流的峰值，方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期，以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。

公开(公告)号：CN1366705A

公开(公告)日：2002-08-28

申请号：CN01800867.4

申请日：2001-04-12

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 木我昌宏 ,  中村淳

IPC: H01J33/00

CPC classification number: H01J33/00 ,  H01J33/02

Abstract: 一种用于电子束辐射的方法和设备(11),其中,三角波发生器(22)用于提供三角波电流给扫描线圈(17),以在第一扫描方向(Y)上移动电子束;方波发生器(21)用于提供方波电流给偏转线圈(16),以在垂直于第一扫描方向(Y)的第二扫描方向(X)上移动电子束;三角波发生器提供的三角波电流被调制,以消除扫描线圈的磁滞效应。此外,相对于三角波电流的峰值,方波电流上升沿被同步并偏移一个预定时期,以便沿第二扫描方向分散电子束路径上的折返点。

公开(公告)号：CN1282078A

公开(公告)日：2001-01-31

申请号：CN00109037.2

申请日：2000-06-05

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 中村淳 ,  吉冈毅 ,  木我昌宏

IPC: G21K5/00

CPC classification number: G21K5/04

Abstract: 一种电子束照射装置,包括一使从一电子束源发出的电子加速而照射一目标的电子加速器和一向该电子加速器供应高压直流电的电源。该电源包括:一把一工业用AC电源输出转变成电压可变的一AC电力输出的变频装置;一DC电源,该DC电源使该变频装置的AC电力输出升压、把升压后电压整流成DC高压、然后把该DC高压加到电子加速器上;以及一反馈控制电路,该反馈控制电路检测DC高压和一电流,从而控制该变频装置的电力输出。