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公开(公告)号:CN118190803A
公开(公告)日:2024-06-14
申请号:CN202311713197.9
申请日:2023-12-12
IPC: G01N21/01 , G01N21/892
Abstract: 本发明目的在于提供能够不设置事先的准备工序或者在检查中停止搬运机构而连续地进行检查、且能够无需多个光源、修正处理地准确地检测从轧制了的金属板冲裁出的圆环状基板的缺陷的圆环状基板的检查装置以及检查方法。圆环状基板的检查装置具备:调整部,其检测被搬运的圆环状基板的轧制痕或磨削痕,并且以使检测出的轧制痕或磨削痕与一定方向一致的方式调整圆环状基板的轧制痕或磨削痕;以及第一缺陷检查部,其具有搬运轧制痕或磨削痕与一定方向一致了的圆环状基板的检查输送机、对圆环状基板从上方照射光的第一照明装置以及拍摄圆环状基板的光照射面的第一线阵相机,并使用由第一线阵相机拍摄到的光照射面的图像来检查圆环状基板的表面的缺陷。