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公开(公告)号:CN115464546A
公开(公告)日:2022-12-13
申请号:CN202210565266.5
申请日:2022-05-23
Applicant: 株式会社电装
Abstract: 提供了用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法。提供了使用阳极氧化的用于SiC衬底的表面处理设备和表面处理方法。用于SiC衬底(W)的表面处理设备(1)包括表面处理垫(3)和电源装置(5)。表面处理垫(32)包括磨轮层。磨轮层被布置成面向SiC衬底的工件表面(W1)。电源装置使周期大于0.01秒且小于或等于20秒的脉冲电流在存在电解液(S)的情况下通过作为阳极的SiC衬底来对要由磨轮层处理的工件表面进行阳极氧化。
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公开(公告)号:CN1908643A
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200610108438.7
申请日:2006-08-02
Applicant: 株式会社电装
CPC classification number: G01N33/2876 , G01N27/301
Abstract: 公开了一种用于检测油的酸度或碱度的基准电极(30、130、230、330),其利用了随油的酸度或碱度而变化的感应电极。基准电极和感应电极用作为一对电极,该对电极用于检测感应电极与基准电极之间的电位之差。基准电极具有相对于随所述油的酸度或碱度而变化的pH值大致恒定的输出电位。基准电极构造成具有由金属制成的电极基材(31、131、231),以及设置在所述电极基材上的金属盐(32、132、232),从而金属盐包含金属并且难溶于水中。
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