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发明公开
表面加工方法审中-实审

公开(公告)号：CN119836680A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202380044949.9

申请日：2023-05-15

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 青木一史 , 丸野尚纪 , 巴赫曼·索坦尼 , 窟贯太郎 , 古川隆太 , 加藤裕也

IPC: H01L21/304 , B23H5/00 , C25F3/16

Abstract: 一种表面加工方法，其为将被加工物(W)的表面、即被加工面(W1)平坦化的表面加工方法，包含以下的步骤、处理、或者工序：通过以夹着碱性电解液(S)使磨石层(32)与上述被加工面相对配置的状态将上述被加工物作为阳极使电流流过，从而因阳极氧化而使上述被加工面生成氧化物。利用上述磨石层而除去因阳极氧化而生成于上述被加工面的上述氧化物。

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