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公开(公告)号：CN114055381A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110757240.6
申请日：2021-07-05
IPC: B25B21/00 , B25B23/147 , G01L3/00 , B25F5/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制输入给放大电路的扭矩的检测信号受到噪声影响的螺丝紧固机。该螺丝紧固机具备：马达；输出轴，其由马达驱动且能够安装工具头；中空的扭转部，其借助传递元件而被传递施加于输出轴的扭矩，且利用施加于所述输出轴的扭矩而间接地被扭转；板状部，其与扭转部一体地形成；应变仪，其配置于扭转部；以及放大电路，其配置于板状部，且被输入来自应变仪的信号。
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公开(公告)号：CN118234461A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202280071545.4
申请日：2022-09-14
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 提供一种用于床用支承构造体(100)的固定构件。支承构造体具有：下部框架(10)；上部框架(20)；升降机构(30)，使所述上部框架相对于所述下部框架升降，具有沿着所述床的宽度方向延伸的支承轴(312)；以及被支承构件(221、222)，固定于所述上部框架并且由所述支承轴支承，所述支承轴在所述上部框架升降时以支承着所述被支承构件的状态沿着所述床的长尺寸方向移动。固定构件具备用于将所述被支承构件固定于所述上部框架的多个固定件(S11～S14)。所述多个固定件均具有：应变体(SB)，所述应变体(SB)的一端固定于所述上部框架并且另一端固定于所述被支承构件；以及应变片(SG)，装配于所述应变体。
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公开(公告)号：CN111527386A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201880084078.2
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加在对象物上的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被压在芯片上，负载传感器包括连结构件(30)，其用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)包括：第1连结部(31)，其用于连结驱动杆(12)；第2连结部(32)，其用于连结吸附杆(22)；及颈部(33)，其设置在第1连结部(31)与第2连结部(32)之间，且相对于第1连结部(31)及第2连结部(32)形成得较细，颈部(33)包括安装在其表面的应变仪(41)～(44)。
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公开(公告)号：CN110520705A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201880024212.X
申请日：2018-02-08
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Inventor： 李奎
Abstract: 本发明提供一种能够比以往更精确地检测负载的三轴力检测装置。三轴力检测装置(1)包括三轴力传感器(2)、弯曲传感器(3)、及信号处理部。三轴力传感器(2)包括：变形体部(21)，其用于承受作用于对象物(W)的负载(F)；X轴用应变计(24)，其安装于变形体部(21)，用于检测X轴方向分力；Y轴用应变计(25)，其用于检测Y轴方向分力；以及Z轴用应变计(26)，其用于检测Z轴方向分力。三轴力传感器(2)是输出与负载(F)的分力(Fx、Fy、Fz)相应的检测值(DFx、DFy、DFz、)的传感器，弯曲传感器(3)是用于检测负载(F)作用于对象物(W)的位置的传感器。信号处理部(4)电连接于弯曲传感器(3)及三轴力传感器(2)，基于弯曲传感器(3)及三轴力传感器(2)的检测信号，计算出负载的X轴方向分力、Y轴方向分力、及Z轴方向分力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111566461B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201880084077.8
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加于对象物的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被按压在芯片上，所述负载传感器包括连结构件(30)，该连结构件(30)用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)以一体化状态具有第1连结部(31)及第2连结部(32)，所述第1连结部(31)连结驱动杆(12)，所述第2连结部(32)连结吸附杆(22)，第1连结部(31)具有：应变产生体部分(311)，其相对于第2连结部(32)形成得较薄，并支撑驱动杆(12)；及应变仪(41)～(44)，其安装在应变产生体部分(311)。
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公开(公告)号：CN111527386B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201880084078.2
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加在对象物上的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被压在芯片上，负载传感器包括连结构件(30)，其用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)包括：第1连结部(31)，其用于连结驱动杆(12)；第2连结部(32)，其用于连结吸附杆(22)；及颈部(33)，其设置在第1连结部(31)与第2连结部(32)之间，且相对于第1连结部(31)及第2连结部(32)形成得较细，颈部(33)包括安装在其表面的应变仪(41)～(44)。
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公开(公告)号：CN110520705B
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201880024212.X
申请日：2018-02-08
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Inventor： 李奎
Abstract: 本发明提供一种能够比以往更精确地检测负载的三轴力检测装置。三轴力检测装置(1)包括三轴力传感器(2)、弯曲传感器(3)、及信号处理部。三轴力传感器(2)包括：变形体部(21)，其用于承受作用于对象物(W)的负载(F)；X轴用应变计(24)，其安装于变形体部(21)，用于检测X轴方向分力；Y轴用应变计(25)，其用于检测Y轴方向分力；以及Z轴用应变计(26)，其用于检测Z轴方向分力。三轴力传感器(2)是输出与负载(F)的分力(Fx、Fy、Fz)相应的检测值(DFx、DFy、DFz、)的传感器，弯曲传感器(3)是用于检测负载(F)作用于对象物(W)的位置的传感器。信号处理部(4)电连接于弯曲传感器(3)及三轴力传感器(2)，基于弯曲传感器(3)及三轴力传感器(2)的检测信号，计算出负载的X轴方向分力、Y轴方向分力、及Z轴方向分力。
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公开(公告)号：CN111566461A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880084077.8
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加于对象物的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被按压在芯片上，所述负载传感器包括连结构件(30)，该连结构件(30)用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)以一体化状态具有第1连结部(31)及第2连结部(32)，所述第1连结部(31)连结驱动杆(12)，所述第2连结部(32)连结吸附杆(22)，第1连结部(31)具有：应变产生体部分(311)，其相对于第2连结部(32)形成得较薄，并支撑驱动杆(12)；及应变仪(41)～(44)，其安装在应变产生体部分(311)。
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公开(公告)号：CN110494728A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201880024208.3
申请日：2018-02-08
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种传感器结构体，其能够比以往更准确地检测施加于对象物的负载。该传感器结构体包括：保持体(45)，其保持被安装于板状的平坦支撑板(47)的对象物，使其能够根据来自外部的负载而向三维的X轴方向、Y轴方向及Z轴方向自由移动；三轴力传感器(50)，其在与支撑板(47)一体安装的状态下检测施加于对象物的负载，三轴力传感器(50)包括：轴部(51)，用于轴支撑对象物；变形体部(55)，其经由轴部(51)承受施加于对象物的负载；X轴用应变计(56)，其被贴附于变形体部(55)的一面，以检测X轴方向分力；Y轴用应变计(57)，其被贴附于变形体部(55)的一面，以检测Y轴方向分力；Z轴用应变计(58)，其位于X轴用应变计(56)与Y轴用应变计(57)之间，且贴附于变形体部(55)的一面，以检测Z轴方向分力。
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