公开(公告)号：CN110882867B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201910852555.1

申请日：2019-09-10

Applicant: 株式会社爱发科 ,  夏普株式会社 ,  堺显示器制品株式会社

Inventor： 加藤裕子 ,  冈山智彦 ,  冈野秀一 ,  矢岛贵浩 ,  越智贵志 ,  平濑刚 ,  千崎刚史 ,  加藤拓司 ,  岸本克彦 ,  增野彻

IPC: B05B7/16

Abstract: 本发明的课题在于防止原料液体的空化。在原料液体以被吹到汽化板(8)的方式流动的原料液体导入路(6)，配置有棒状的阻力体(7)，使原料液体导入路(6)相对于原料液体的导入率下降。由于液体质量流量控制器的出口侧的压力上升，与液体质量流量控制器的入口侧的压力的压力差变小，因而能够防止空化的发生。能够使阻力体(7)以多个构成。

公开(公告)号：CN110882867A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201910852555.1

申请日：2019-09-10

Applicant: 株式会社爱发科 ,  夏普株式会社 ,  堺显示器制品株式会社

Inventor： 加藤裕子 ,  冈山智彦 ,  冈野秀一 ,  矢岛贵浩 ,  越智贵志 ,  平濑刚 ,  千崎刚史 ,  加藤拓司 ,  岸本克彦 ,  增野彻

IPC: B05B7/16

Abstract: 本发明的课题在于防止原料液体的空化。在原料液体以被吹到汽化板(8)的方式流动的原料液体导入路(6)，配置有棒状的电阻器(7)，使原料液体导入路(6)相对于原料液体的电导率下降。由于液体质量流量控制器的出口侧的压力上升，与液体质量流量控制器的入口侧的压力的压力差变小，因而能够防止空化的发生。能够使电阻器(7)以多个构成。