光照射装置的光照射方法以及光照射装置

    公开(公告)号:CN101978308A

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN201080001281.2

    申请日:2010-01-27

    CPC classification number: G02F1/1339 G02F1/1333

    Abstract: 一种从包含沿着一个方向(X)排列的多个光学元件(LED)的光照射装置照射直线状光束(LB)的方法。所述方法具备以下步骤:通过从各个光学元件(LED)照射具有椭圆形状照射区域(T)的光线,并且将各个照射区域(T)重叠,来生成具有沿着一个方向(X)延伸的光照射面(SF)的直线状光束;使直线状光束的光照射面(SF)沿着一个方向(X)与形成在基板(P)上的直线状光固化性树脂(S)对峙;将直线状光束照射在直线状光固化性树脂(S)上;在将直线状光束照射在直线状光固化性树脂上的期间,使直线状光束的光照射面(SF)和基板(P)的一方沿着一个方向(X)相对移动。

    光照射装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101556908B

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN200910127678.5

    申请日:2009-03-18

    Inventor: 门胁徹二

    Abstract: 一种光照射装置,可增加从光源射出而照射于被照射体的光量。光照射装置,包括:光源(40);配置于该光源(40)下方的遮光罩(M);设于该遮光罩(M)上方的支承构件(24);及吸附管(30),该吸附管被该支承构件(24)支承,具有光透射性,利用真空吸引以吸附保持遮光罩(M)。光照射装置,将从光源(40)照射、透射过遮光罩(M)的光,照射于配置在该遮光罩(M)下方的被照射体(W)。

    光照射装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102388336A

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN201080002236.9

    申请日:2010-07-20

    CPC classification number: G02F1/1339

    Abstract: 光照射装置具备:载置台(ST),其载置形成有直线状的光固化性树脂(S)的基板;和光照射单元(3),其包括沿着一个方向排列的多个光学元件(LED)。光照射单元(3)通过将从多个光学元件(LED)出射的光束重叠来生成沿着所述一个方向延伸的直线状光束(LB),并且一边使直线状光束(LB)沿着所述一个方向与形成在基板上的直线状的光固化性树脂(S)对峙,一边对其进行照射。光照射装置进一步具备光吸收部件(18),该光吸收部件形成在载置台(ST)的表面。

    光照射装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101556908A

    公开(公告)日:2009-10-14

    申请号:CN200910127678.5

    申请日:2009-03-18

    Inventor: 门胁徹二

    Abstract: 一种光照射装置,可增加从光源射出而照射于被照射体的光量。光照射装置,包括:光源(40);配置于该光源(40)下方的遮光罩(M);设于该遮光罩(M)上方的支承构件(24);及吸附管(30),该吸附管被该支承构件(24)支承,具有光透射性,利用真空吸引以吸附保持遮光罩(M)。光照射装置,将从光源(40)照射、透射过遮光罩(M)的光,照射于配置在该遮光罩(M)下方的被照射体(W)。

    对准装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101630086B

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN200910164730.4

    申请日:2009-07-16

    Inventor: 门胁徹二

    Abstract: 本发明提供一种可以将装置全体小型轻量化,并可以降低对工件进行位置对准的负荷,还可以降低耗电量的对准装置。对准装置30具有互相分开的4个对准载台31,并以设于各自对应的1个对准载台31上的4个对准工作台AT支撑面板。使位于4处的对准工作台AT通过联结杆40a、40b、41a、41b连动,将由对准工作台AT支撑的面板对应于位置偏差进行左旋转移动、右旋转移动、右侧平行移动、左侧平行移动、后侧平行移动、或者前侧平行移动,以使面板相对于遮光罩的位置偏差变为零。

    对准装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101630086A

    公开(公告)日:2010-01-20

    申请号:CN200910164730.4

    申请日:2009-07-16

    Inventor: 门胁徹二

    Abstract: 本发明提供一种可以将装置全体小型轻量化,并可以降低对工件进行位置对准的负荷,还可以降低耗电量的对准装置。对准装置30具有互相分开的4个对准载台31,并以设于各自对应的1个对准载台31上的4个对准工作台AT支撑面板。使位于4处的对准工作台AT通过联结杆40a、40b、41a、41b连动,将由对准工作台AT支撑的面板对应于位置偏差进行左旋转移动、右旋转移动、右侧平行移动、左侧平行移动、后侧平行移动、或者前侧平行移动,以使面板相对于遮光罩的位置偏差变为零。

    光照射装置的光照射方法以及光照射装置

    公开(公告)号:CN101978308B

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201080001281.2

    申请日:2010-01-27

    CPC classification number: G02F1/1339 G02F1/1333

    Abstract: 一种从包含沿着一个方向(X)排列的多个光学元件(LED)的光照射装置照射直线状光束(LB)的方法。所述方法具备以下步骤:通过从各个光学元件(LED)照射具有椭圆形状照射区域(T)的光线,并且将各个照射区域(T)重叠,来生成具有沿着一个方向(X)延伸的光照射面(SF)的直线状光束;使直线状光束的光照射面(SF)沿着一个方向(X)与形成在基板(P)上的直线状光固化性树脂(S)对峙;将直线状光束照射在直线状光固化性树脂(S)上;在将直线状光束照射在直线状光固化性树脂上的期间,使直线状光束的光照射面(SF)和基板(P)的一方沿着一个方向(X)相对移动。

    光照射装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101464599B

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN200810188571.7

    申请日:2008-12-17

    Abstract: 本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加,而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。紫外线照射装置(1)的载置台(13)具有载置通过光硬化树脂所形成的线状密封材粘合而成的2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面。紫外线照射装置(1)具有按线状排列有可进行光照射并且可单独打开关闭的多个UVLED的照射部(22a~22d)。各照射部(22a~22d)从多个UVLED其中至少一个使与密封材的宽度相符的线状光朝向粘合基板W照射。X轴致动器(19)可以在载置台(13)其中载置粘合基板W的载置面的平行面内使各照射部(22a~22d)沿与UVLED排列方向相交的方向移动。控制部根据密封材的图案对各UVLED进行打开关闭。

    光照射装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101464599A

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200810188571.7

    申请日:2008-12-17

    Abstract: 本发明提供一种可以在力求节电的同时避免部件数量增加,而且相对于密封材的图案独立地对密封材进行光照射的光照射装置。紫外线照射装置(1)的载置台(13)具有载置通过光硬化树脂所形成的线状密封材粘合而成的2片基板所形成的粘合基板(W)的载置面。紫外线照射装置(1)具有按线状排列有可进行光照射并且可单独打开关闭的多个UVLED的照射部(22a~22d)。各照射部(22a~22d)从多个UVLED其中至少一个使与密封材的宽度相符的线状光朝向粘合基板W照射。X轴致动器(19)可以在载置台(13)其中载置粘合基板W的载置面的平行面内使各照射部(22a~22d)沿与UVLED排列方向相交的方向移动。控制部根据密封材的图案对各UVLED进行打开关闭。

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