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公开(公告)号：CN116057199B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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公开(公告)号：CN100474993C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200480043619.5
申请日：2004-05-31
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0096 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的目的在于提供一种方法，通过确实地避免当例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层时由于有机物等引起的不利影响而稳定地制造高质量有机EL器件。解决方法的特征在于用臭氧气体清洗装配有用于例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层的有机膜形成室的有机EL器件制造装置的内部，然后形成有机层。
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公开(公告)号：CN116057199A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202180058339.5
申请日：2021-07-15
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供一种旋转式阴极单元的驱动块，其不但具有容易进行磁盒对驱动块的组装和分解的结构，而且无需对配置在靶的内侧的部件例如实施特殊的防水处理就可进行供电。旋转式阴极单元(Rc)用的驱动块(DB)设置在旋转式阴极单元的靶的X轴线方向前端，并支撑靶，所述旋转式阴极单元具有：配置在真空气氛中的筒状的靶(Tg)；以及插入该靶内的内筒体(35)；所述驱动块具备向设置在内筒体内的部件供电的供电装置，具备中空管(4)，其具有配置在内筒体的轴线方向的延长线上的直线部(62)，供电装置具备机械分离的：与所述部件连接的受电部(811)；以及与电源电路连接的供电部(931)，受电部和供电部以彼此相对的状态配置在内筒体的轴线方向的前端部和直线部的轴线方向的后端部。
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公开(公告)号：CN1994022A
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200480043619.5
申请日：2004-05-31
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0096 , Y02E10/549 , Y02P70/521
Abstract: 本发明的目的在于提供一种方法，通过确实地避免当例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层时由于有机物等引起的不利影响而稳定地制造高质量有机EL器件。解决方法的特征在于用臭氧气体清洗装配有用于例如在其上形成有阳极的衬底的表面上形成有机层的有机膜形成室的有机EL器件制造装置的内部，然后形成有机层。
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