公开(公告)号：CN118621269A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410240938.4

申请日：2024-03-04

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 木本孝仁 ,  安田仁 ,  仓内利春 ,  佐佐木俊介 ,  氏原祐辅

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56

Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀方法，能够尽量抑制蒸镀舟皿上产生的局部变形的进行，延长蒸镀舟皿的使用寿命。包含蒸发工序，其使用蒸镀舟皿(3)，以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料，通过在两电极安装板部间通电而加热舟皿主体，使收纳部内的蒸镀材料蒸发，其中，所述蒸镀舟皿具有：具有蒸镀材料(Em)的收纳部(31a)的作为蒸镀源(BS)的舟皿主体(31)；以及分别从舟皿主体的两端伸出的电极安装板部(33)。还包括移位工序，其在供给线状的蒸镀材料期间，通过与舟皿主体的底板抵接的线状的蒸镀材料的前端部(Em1)相对于舟皿主体的相对移动而使前端部连续或间歇地移位。

公开(公告)号：CN118531356A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410067573.X

申请日：2024-01-16

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 木本孝仁 ,  安田仁 ,  仓内利春 ,  佐佐木俊介

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种真空处理装置用的蒸发源，其即使在以较快的蒸镀速率进行蒸镀时，也能尽量抑制蒸镀舟皿的变形，使用寿命长。具备：蒸镀舟皿(3)，其具有舟皿主体(31)和分别从该舟皿主体两端伸出的电极安装板部(33)，所述舟皿主体具有蒸镀材料(Em)的收纳部(31a)；以及材料供给机构(6)，其对舟皿主体的收纳部从其上方供给线状的蒸镀材料(Em)；通过在两电极安装板部间通电，对舟皿主体进行加热，使收纳部内的蒸镀材料蒸发。设置支撑机构(8)，其与由蒸镀材料的供给带来的载荷所作用的、限定该收纳部的舟皿主体的底板部分从其下方抵接，支撑机构具有支撑板，所述支撑板采用其上端与舟皿主体的底板部分抵接的状态设置。

公开(公告)号：CN118531355A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410065687.0

申请日：2024-01-16

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 木本孝仁 ,  安田仁 ,  仓内利春 ,  佐佐木俊介

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种能够抑制局部过热而使寿命延长的真空处理装置用的蒸发源。具备蒸镀舟皿，其具有：舟皿主体(31)，其具有蒸镀材料(Em)的收纳部(31a)；立板部(32)，其从舟皿主体的一个方向两端分别向上方立起；以及蒸镀舟皿，其从两立板部的上端分别向外侧伸出。通过在两电极安装板部间通电，加热舟皿主体，使收纳部内的蒸镀材料蒸发。此时，在立板部上设置通电电流的分流路。