公开(公告)号：CN104396350B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201380033580.8

申请日：2013-03-19

Applicant: 株式会社村田制作所 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 八户启 ,  酒井道

IPC: H05H1/00 ,  B22F3/14 ,  C04B35/64 ,  H05H1/24

CPC classification number: C04B35/645 ,  B01J3/00 ,  B22F3/10 ,  B22F3/14 ,  B22F2203/11 ,  B22F2999/00 ,  B30B11/00 ,  B30B15/02 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/602 ,  C04B2235/666 ,  C04B2235/667 ,  C04B2235/77 ,  H05H1/0037 ,  H05H1/0043 ,  H05H1/48 ,  H05H2277/00 ,  B22F3/003

Abstract: 放电等离子加工装置(101)具备：作为对被加工物(5)加压的加压部的冲头(2a、2b)；作为用于对被加工物(5)施加脉冲电流的脉冲电流施加部的直流脉冲电流发生器(6)；作为用于检测通过脉冲电流的施加而产生的等离子的光的光谱的检测部的分光器(10)；和用于根据检测部的检测结果来控制脉冲电流的控制部(12)。

公开(公告)号：CN104396350A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201380033580.8

申请日：2013-03-19

Applicant: 株式会社村田制作所 ,  国立大学法人京都大学

Inventor： 八户启 ,  酒井道

IPC: H05H1/00 ,  B22F3/14 ,  C04B35/64 ,  H05H1/24

CPC classification number: C04B35/645 ,  B01J3/00 ,  B22F3/10 ,  B22F3/14 ,  B22F2203/11 ,  B22F2999/00 ,  B30B11/00 ,  B30B15/02 ,  C04B35/4682 ,  C04B2235/602 ,  C04B2235/666 ,  C04B2235/667 ,  C04B2235/77 ,  H05H1/0037 ,  H05H1/0043 ,  H05H1/48 ,  H05H2277/00 ,  B22F3/003

Abstract: 放电等离子加工装置(101)具备：作为对被加工物(5)加压的加压部的冲头(2a、2b)；作为用于对被加工物(5)施加脉冲电流的脉冲电流施加部的直流脉冲电流发生器(6)；作为用于检测通过脉冲电流的施加而产生的等离子的光的光谱的检测部的分光器(10)；和用于根据检测部的检测结果来控制脉冲电流的控制部(12)。