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公开(公告)号:CN119278585A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202380043010.0
申请日:2023-05-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 抑制频率特性的变动。具备:压电层,其具有在第一方向上对置的第一主面及第二主面;至少一对电极,其设置在第一主面及第二主面的至少任意一者;以及保护膜,其覆盖一对电极的至少一部分。保护膜包括与一对电极相接的第一成分的绝缘膜和表层的第二成分的绝缘膜。第一成分的绝缘膜与第二成分的绝缘膜相比耐湿性高。第二成分的绝缘膜与第一成分的绝缘膜相比耐等离子体性高。
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公开(公告)号:CN119032510A
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202380030981.1
申请日:2023-03-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 在本发明中,抑制压电层的裂纹。具备:支承构件,具有支承基板;压电层,设置在支承构件的作为支承基板的厚度方向的第1方向上;至少1个功能电极,设置在压电层的第1方向上;以及增强膜,设置在压电层的第1方向上。在支承构件存在在第1方向的压电层侧开口的空间部、以及比空间部中的与第1方向交叉的第2方向的缘向外侧延伸的引出通路。存在至少1个贯通孔,在第1方向上俯视下,至少1个贯通孔配置在不与功能电极重叠的位置,至少1个贯通孔与引出通路连通,并贯通压电层。增强膜在第1方向上俯视下处于贯通孔与空间部之间的区域,设置为与压电层和引出通路重叠的区域的至少一部分相重叠。
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