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公开(公告)号：CN1221255A
公开(公告)日：1999-06-30
申请号：CN98122780.5
申请日：1998-12-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 门田道雄 , 米田年 , 藤本耕治
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/25 , H03H3/10 , Y10T29/42
Abstract: 一种制造具有压电基片和设置在所述压电基片上的叉指式换能器的声表面波器件的方法,包括下述步骤:在压电基片上形成由无机材料或有机材料制成的覆盖层,以覆盖所述叉指式换能器,以及由激光蚀刻覆盖层,以调节声表面波器件的工作频率。
