Saved successfully
Save failed
Saved Successfully
Save Failed
公开(公告)号：CN1319949A
公开(公告)日：2001-10-31
申请号：CN01111997.7
申请日：2001-03-30
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 水田隆史 , 川端章一
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H3/10 , H01J2237/3151 , Y10T29/42
Abstract: 本发明揭示一种电子部件的频率调节方法,包括通过将离子束照射在电极上蚀刻设置在电子部件表面的电极的步骤。沿着将电极设置在其上的表面的一个方向,至少移动电子部件和离子束中的一个,进行离子束照射。
